华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司路新春获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司申请的专利晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118927054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411002012.8，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备是由路新春;赵德文;刘远航;陈超;赵四化设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备。方法包括：将晶圆放置到晶圆吸附装置上；控制晶圆与晶圆吸附装置之间形成真空吸附；及磨削晶圆背对晶圆吸附装置的一侧；晶圆吸附装置包括吸附板、吸盘、具有轴向通孔的通流轴及安装座，吸盘在背对安装座的一侧设置有朝向安装座凹陷的容纳腔，吸附板设置在容纳腔中；安装座具有轴向贯通的座孔，吸盘具有位于其朝向安装座的一侧且与座孔同轴连通的吸盘孔及将吸盘孔与容纳腔流体连通的流体通道，通流轴穿过座孔和吸盘孔延伸到吸盘中；通流轴背对吸盘的一端与流体源流体连接，通过控制流体源从轴向通孔抽吸流体以形成真空吸附。
本发明授权晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工方法，其特征在于，所述方法包括： 将待加工的晶圆放置到晶圆吸附装置上； 控制晶圆与晶圆吸附装置之间形成真空吸附；以及 磨削晶圆的背对晶圆吸附装置的一侧； 其中，晶圆吸附装置包括吸附板、吸盘、具有轴向通孔的通流轴以及安装吸盘的安装座，吸盘在背对安装座的一侧设置有朝向安装座凹陷的容纳腔，吸附板设置在容纳腔中；安装座构造有轴向贯通的座孔，吸盘构造有位于其朝向安装座的一侧且与座孔同轴连通的吸盘孔以及将吸盘孔与容纳腔流体连通的流体通道，轴向通孔经由流体通道与吸附板流体连通；通流轴穿过座孔和吸盘孔延伸到吸盘中以使流体避开吸盘和安装座之间的贴合面，以避免颗粒随流体进入贴合面，从而使吸盘自研磨与吸盘吸附晶圆时吸盘与安装座贴合的松紧状态一致； 通流轴背对吸盘的一端与流体源流体连接，通过控制流体源从轴向通孔抽吸流体以使吸附板真空吸附晶圆，以在晶圆与晶圆吸附装置之间形成真空吸附。
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