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龙图腾网获悉立川(无锡)精密设备有限公司申请的专利具有交替清洗结构的晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118305108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410672088.5，技术领域涉及：B08B1/12；该发明授权具有交替清洗结构的晶圆清洗机是由林邦羽;翁鑫晶设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有交替清洗结构的晶圆清洗机在说明书摘要公布了：具有交替清洗结构的晶圆清洗机，涉及晶圆清洗技术领域，本发明包括超声波清洗箱，超声波清洗箱的上端外表面设置有箱盖，且超声波清洗箱的前端外表面靠近底端的位置设置有控制板，超声波清洗箱的上端外表面开设有清洗腔；本发明是通过设置清洗框、清理组件以及冲洗组件相互配合，能够使浸洗、清理与冲洗三种方式交替式结合使用，且在晶圆片表面的污染物与清洗液充分融合后，利用晶圆片的两侧设置限位辊同时对多组晶圆片进行分隔限位固定，再通过多组清理刷在两组限位辊之间移动对每个晶圆片表面同时进行针对性无死角清理，能够使得污染物去除更加彻底。

本发明授权具有交替清洗结构的晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.具有交替清洗结构的晶圆清洗机，包括超声波清洗箱1，所述超声波清洗箱1的上端外表面设置有箱盖2，且超声波清洗箱1的前端外表面靠近底端的位置设置有控制板3，其特征在于，所述超声波清洗箱1的上端外表面开设有清洗腔4，且超声波清洗箱1的一侧外表面靠近底端的位置设置有表面安装有控制阀的排水管，所述排水管与清洗腔4相通； 所述清洗腔4的内部设置有清洗框5，且清洗框5的内部等距离设置有若干组容纳槽10，所述清洗框5与清洗腔4之间设置有电动推杆一6，且电动推杆一6的一端与清洗腔4固定连接，另一端与清洗框5固定连接，所述清洗框5呈镂空状； 所述清洗腔4的内部位于清洗框5侧上方的位置设置有用于对晶圆片进行夹持的限位机构7，且限位机构7的内部包括有用于对晶圆片进行清洗的冲洗组件8，所述清洗腔4的内部位于限位机构7上方的位置设置有清理组件9； 所述限位机构7包括对晶圆片固定的两组限位辊701；两组所述限位辊701的外表面均设置U型架702，所述限位辊701设置有U型架702的内部，且U型架702一侧外表面靠近中部的位置设置有电动推杆二703，所述电动推杆二703的一端与U型架702固定连接，另一端与清洗腔4固定连接； 所述冲洗组件8包括用于驱动限位辊701转动的电机一801，两组所述U型架702的一侧外表面均设置防水盒，且电机一801设置于防水盒的内部，所述电机一801的输出端贯穿U型架702的内部并与限位辊701固定连接，且限位辊701的内部开设有导流腔804，所述限位辊701远离电机一801的一端转动连接有连接管一802，且U型架702外表面与连接管一802对应的位置固定连接有连接管二803，且连接管一802、连接管二803以及导流腔804三者相通； 所述清洗腔4的底部设置有输出端与两组连接管二803连接的第一水泵，且连接管二803为软管，所述限位辊701外表面等距离开设有若干组弧形槽805，每组所述弧形槽805内表面靠近导流腔804的一侧等距离设置有三组喷头一806； 利用晶圆片的两侧设置所述限位辊701同时对多组晶圆片进行分隔限位固定，再通过所述清理组件9在两组所述限位辊701之间移动对每个晶圆片表面同时进行针对性无死角清理。

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