电子科技大学张云鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118011090B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410038391.X,技术领域涉及:G01R27/02;该发明授权一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法是由张云鹏;石林峰;李恩;李灿平;程锦;余承勇;高冲设计研发完成,并于2024-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法在说明书摘要公布了:本发明的目的在于提供一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法,属于微波、毫米波材料电磁参数测试技术领域。该方法通过测量双球腔的空腔品质因数、待测样品表面和左侧准光腔球面组成的平凹腔的品质因数、以及待测样品表面和右侧准光腔球面组成的平凹腔的品质因数,基于三次品质因数的测量结果,完成了对双球腔两个球面的镜面损耗的扣除。利用本发明的测试方法,可以实现对金属表面电阻的高精度测试,在高频率下测试精度有所提升,在360GHz和460GHz下分别测试了两种典型金属铜和不锈钢,测量结果显示,总体测量误差都小于15%。
本发明授权一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法在权利要求书中公布了:1.一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1.调试准光学谐振腔测试系统,并根据测试频率和测试所需时间设置矢量网络分析仪的频率范围以及扫描点数; 步骤2.不放置待测金属,测量空腔状态下准光学谐振腔测试系统的谐振频率和品质因数; 步骤3.在左侧准光腔球面和右侧准光腔球面的中心处设置待测金属,并使待测金属测试表面与左侧准光腔球面的反射面正对组成平凹腔,高斯波束汇聚在待测金属中心位置,然后将准光学谐振腔测试系统中右侧准光腔球面和其对应的耦合装置去除; 调整待测金属表面与左侧准光腔球面之间的距离,使平凹腔的谐振频率与步骤2中双球腔测试时的谐振频率相同,然后测量此时的品质因数; 步骤4.将准光学谐振腔测试系统中右侧准光腔球面和其对应的耦合装置还原,去除左侧准光腔球面和其对应的耦合装置,翻转待测金属,使步骤3中测试过的待测金属测试表面与右侧准光腔球面的反射面正对,调整待测金属中心与右侧准光腔球面之间的距离,使准光学谐振腔测试系统的谐振频率仍为,测量此时的品质因数为; 步骤5.根据三次测量得到的品质因数、、,计算得出待测金属材料的微波表面电阻率,具体计算方式如下: , 其中,是待测金属的欧姆损耗,是在忽略衍射损耗和腔体弱耦合引入的耦合损耗情况下,通过三次测量得到的品质因数计算得到的;、、分别是双球腔的镜面损耗、左测球面镜面损耗和右侧球面镜面损耗,三者满足以下关系: , 表面电阻率通过以下公式计算得到: , 式中,是谐振频率,为真空磁导率,是平凹腔内部磁场矢量,是在待测金属表面上的切向磁场矢量,V为平凹腔包含电磁场的腔体空间体积,为待测金属表面积。
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