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龙图腾网获悉安徽大学申请的专利一种金属氮化物MN(M=Al或Cr)/氧化物M’2O3(M’=Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117448797B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311461053.9，技术领域涉及：C23C18/12；该发明授权一种金属氮化物MN(M=Al或Cr)/氧化物M’2O3(M’=Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法是由芦伟;王飞跃;李文广;汪卫华;储德林;杨锦宏;贺胜男设计研发完成，并于2023-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金属氮化物MN(M=Al或Cr)/氧化物M’2O3(M’=Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种金属氮化物MNM＝Al或Cr氧化物M’2O3M’＝Al、Y或Er复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法，属于涂层技术领域。本发明通过金属有机分解方法，先对基体进行表面处理，随后将制备好的金属氮化物MNM＝Al或Cr涂层前驱体基体进行浸渍提拉，大气气氛中干燥后，氮气气氛退火烧结成型后，将金属氧化物M’2O3M’＝Al、Y或Er涂层前驱体溶液在基体进行同样的浸渍提拉，干燥，退火烧结得到金属氮化物MN氧化物M'2O3复合抗蚀阻氚涂层。本发明提供的金属氮化物MN氧化物M’2O3复合抗蚀阻氚涂层，可以兼具较低的氚渗透性能和对液态锂合金的抗腐蚀性，具有成本低、致密性好、厚度可控、膜基结合力强、不易开裂、不受工件大小限制、可在大型复杂形状工件表面进行制备等显著优点。

本发明授权一种金属氮化物MN(M=Al或Cr)/氧化物M’2O3(M’=Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法在权利要求书中公布了：1.一种金属氮化物MN氧化物M’2O3复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法，其特征在于，包含以下步骤： 1基体表面处理 基底先用SiC砂纸和金刚石浆料进行研磨抛光，然后在室温下超声清洗;清洗过程按以下顺序进行：先将抛光好的基底放置在氢氧化钠溶液中，然后用乙醇和丙酮进行清洗，最后在去离子水中浸泡后，将清洁后的基体在干燥箱中干燥； 2金属氮化物MN和金属氧化物M’2O3前驱体溶液制备 取六水合氯化铝或六水合氯化铬，以及尿素，溶于无水甲醇中，对溶液加热搅拌后，得到金属氮化物MN前驱体以备涂膜；M=Al或Cr， 称取金属M’盐类溶解于乙酸正丁酯和乙二醇单甲醚的混合溶液中，对溶液加热搅拌后加入乙酸乙酯、松节油以及二乙醇胺作为稳定剂，最后加入松香及丙酸作为成膜促进剂，配置得到金属氧化物M’2O3前驱体以备涂膜，M’=Al、Y或Er；六水合氯化铝或六水合氯化铬与尿素的摩尔比为1:4~1:8；丙酸含量为1~10wt%，松节油含量为10~20wt%，乙酸乙酯含量为3~13wt%，松香含量为0.1~10wt%；二乙醇胺体积分数为4~10%，乙酸正丁酯体积分数40~60%，乙二醇单甲醚体积分数为40～60%；乙酸正丁酯与乙二醇单甲醚混合溶液比例为1:2~2:1；金属氧化物M’2O3前驱体中M’含量为2~6wt%， 3涂膜 先选择所述的金属氮化物MN前驱体溶液，采用浸渍提拉法进行涂膜； 4金属氮化物MN陶瓷抗蚀阻氚涂层的干燥 将涂膜后的基材先置于空气氛围中保温，以干燥易挥发溶剂； 5金属氮化物MN陶瓷抗蚀阻氚涂层的烧结成型 将涂膜干燥后的基体在氮气气氛下，加热至800~1000℃，烧结，制得金属氮化物MN陶瓷抗蚀阻氚涂层； 6复合涂层制备 选择所述的金属氧化物M’2O3前驱体溶液，在之前涂膜的样品上采用浸渍提拉法进行复合涂层制备； 7金属氮化物MN氧化物M’2O3复合陶瓷抗蚀阻氚涂层的干燥 将涂膜后的样品先置于80~120℃空气氛围中保温15~60min，以干燥易挥发溶剂，然后置于400~480℃中保温15~120min，以干燥难挥发有机溶剂； 8金属氮化物MN氧化物M’2O3复合陶瓷抗蚀阻氚涂层的烧结成型 将涂膜干燥后的样品在空气或氩气气氛下，加热至480~800℃，烧结0.5~3h，制得金属氮化物MN氧化物M’2O3复合陶瓷抗蚀阻氚涂层； 所述步骤4578中，升温速率为3~10℃·min-1。

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