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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117384130B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310849357.6，技术领域涉及：C07D333/76；该发明授权鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法是由福岛将大;畠山润;渡边朝美;片山和弘设计研发完成，并于2023-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明提供于光刻中，正型、负型皆为高感度且分辨性优异、LWR、CDU有所改善且能抑制抗蚀剂图案崩塌的抗蚀剂组成物使用的新颖鎓盐。一种鎓盐，其特征为以下列通式1表示。式中，RALU表示和相邻的氧原子一起形成的具有环状结构的叔醚、叔碳酸酯、或缩醛中的任一者。RF为氟原子、碳数1～6的含氟烷基、硝基中的任一者。又，Ra为碳数1～20的烃基。n1为0或1的整数。n2及n3为1或2的整数。RF与‑O‑RALU中的各1个键结于互相相邻的碳原子。n4为0～3的整数。Z+表示鎓阳离子。

本发明授权鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种鎓盐，其特征为以下列通式1表示， 式中，RF为氟原子、碳数1～6的含氟烷基、硝基中的任一者，又，Ra为也可以含有杂原子的碳数1～20的烃基，n1为0或1的整数，n2及n3为1或2的整数，n2及n3为1时，RF与-O-RALU键结于互相相邻的碳原子，又，n2、n3中的任一者或两者为2时，RF与-O-RALU中的各1个键结于互相相邻的碳原子，n4为0～3的整数，n4≥2时，亦可多个Ra互相键结并和它们所键结的碳原子一起形成5元环或6元环结构，Z+表示鎓阳离子； 该通式1中的RALU的结构以下列通式ALU-1或ALU-2表示， 式ALU-1中，R21’、R22’、及R23’各自独立地为亦可具有杂原子的碳数1～12的烃基，R21’、R22’、及R23’中的任二者亦可互相键结而形成碳数3～30的脂环结构；R21’、R22’、及R23’未互相键结并形成环时，它们之中至少一者具有碳数3～30的脂环结构或碳数6～30的芳香环结构，t为0或1的整数，式ALU-2中，R24’、及R25’各自独立地为氢原子、或碳数1～10的烃基，R26’为碳数1～20的烃基、或亦可和R24’或R25’互相键结并与它们所键结的碳原子及Xa一起形成碳数3～20的杂环基，又，该烃基及杂环基中含有的-CH2-亦可替换为-O-或-S-，Xa表示氧原子、或硫原子，＊表示和相邻的氧原子的键结， 所述杂原子选自氧原子、硫原子、氮原子和卤素原子。

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