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龙图腾网获悉成都极星等离子科技有限公司申请的专利一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116752101B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310476506.9，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴是由陈刚;周敏设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴在说明书摘要公布了：本发明涉及物理气相沉积设备领域，公开了一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，包括真空室底座，真空室底座内安装有主动轴，部分主动轴伸入真空室内，伸入真空室内的主动轴外侧安装有第一磁组，真空室底座上设有包裹主动轴的轴座，轴座外侧套装有与主动轴同轴设置的从动轴，从动轴靠近主动轴一端中部加工有包裹轴座配合的避让口，避让口处的从动轴内部安装有第二磁组，第二磁组与第一磁组的磁极相反，从动轴外侧套装有压套。本发明在主动轴与从动轴之间设置轴座将大气侧与真空侧分隔，利用第一磁组和第二磁组可是主动轴在不接触从动轴的情况下带动从动轴转动，从而解决了现有动态密封造成的漏气问题。

本发明授权一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴在权利要求书中公布了：1.一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：包括真空室底座1，所述真空室底座1为中空的下凸结构，真空室底座1内部安装有可转动的主动轴2，部分主动轴2伸入真空室内，主动轴2中部安装有与真空室底座1连接的轴承组3，所述真空室底座1下方安装有与主动轴2连接的电机4，伸入真空室内的主动轴2外侧安装有第一磁组5，第一磁组5由多块沿主动轴2轴向均布的磁铁依次排列组成，所述主动轴2上安装有固定第一磁组5的上固定套6和下固定套7，所述真空室底座1上设有包裹主动轴2的轴座8，所述轴座8外侧套装有与主动轴2同轴设置的从动轴9，所述从动轴9靠近主动轴2一端中部加工有包裹轴座8配合的避让口91，避让口91处的从动轴9内部安装有第二磁组10，所述第二磁组10由多块沿主动轴2轴向均布的磁铁依次排列组成，第二磁组10与第一磁组5的磁极相反，所述从动轴9外侧套装有压套11，所述压套11通过螺栓与真空室底座1固定连接，所述压套11与轴座8上均安装有支撑从动轴9的轴承组3。

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