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龙图腾网获悉上海和宏电子科技有限公司申请的专利一种压力传感器自动校零方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625577B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310602797.1，技术领域涉及：G01L27/00；该发明授权一种压力传感器自动校零方法及系统是由刘仁鑫设计研发完成，并于2023-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种压力传感器自动校零方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种压力传感器自动校零方法及系统。所述方法包括：根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；根据压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；根据第一偏差、第二偏差确定偏差幅值，根据偏差幅值对压力传感器进行自动校零。本发明的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。

本发明授权一种压力传感器自动校零方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种压力传感器自动校零方法，其特征在于，所述压力传感器布设于纯化器的纯化作业腔体内，所述方法包括如下步骤： 根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差即减压偏差； 根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差即增压偏差；所述第一压力检测数据、所述第二压力检测数据指的是压力数值； 根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零； 所述第一时段位于吹扫作业之前，所述第二时段位于吹扫作业过程中； 所述根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零，包括：在第四时段内，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零；其中，所述第四时段位于吹扫作业过程中； 所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差，包括： 获取所述第一时段的在先的第一时刻的第一压力数值，以及所述第一时段的在后的第二时刻的第二压力数值； 根据所述第一压力数值与所述第二压力数值计算得出第一差值； 根据第一预设差值和所述第一差值计算得出所述第一偏差； 所述根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差，包括： 获取所述第二时段的在先的第三时刻的第三压力数值，以及所述第二时段的在后的第四时刻的第四压力数值； 根据所述第四压力数值与所述第三压力数值计算得出第二差值； 根据第二预设差值和所述第二差值计算得出所述第二偏差。

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