中国科学院自动化研究所韩华获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院自动化研究所申请的专利离子束刻蚀电极装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116525399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310569326.5,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权离子束刻蚀电极装置是由韩华;马宏图;汪明刚;李琳琳设计研发完成,并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子束刻蚀电极装置在说明书摘要公布了:本发明涉及脑科学设备技术领域,尤其涉及一种离子束刻蚀电极装置,旨在解决基片取放不便的问题。本发明包括转动挡板、升降压板、载片台和电极;载片台放置于电极上,用于承载基片;升降压板可在竖直方向移动以向下压紧载片台;转动挡板设置于载片台上方并可在水平面内转动以远离载片台。本发明将基片放置于载片台,并通过升降压板在竖直方向的移动将载片台压紧在电极上,防止载片台因电极的角度调整以及旋转导致偏移滑动甚至脱落,影响正常工作。通过升降压板的竖直运动实现对载片台的松开和锁紧来代替粘接或螺丝紧固的方式,可极大提高载片台的拆装效率,节约了取送片的时间。
本发明授权离子束刻蚀电极装置在权利要求书中公布了:1.一种离子束刻蚀电极装置,其特征在于,包括转动挡板1、升降压板2、载片台3和电极6; 所述载片台3放置于所述电极6上,用于承载基片; 所述升降压板2可在竖直方向移动以向下压紧所述载片台3; 所述转动挡板1设置于所述载片台3上方并可在水平面内转动以远离所述载片台3; 还包括磁流体转动部7和磁流体固定部8; 所述电极6和所述载片台3安装于所述磁流体转动部7,所述磁流体转动部7可绕自身轴线转动; 所述磁流体固定部8设置于所述磁流体转动部7下方并与所述磁流体转动部7连接; 升降压板2靠近载片台3的一侧设置缓冲垫。
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