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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于立式炉的传送系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115966498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310068129.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种用于立式炉的传送系统及其控制方法是由曾裕民;黄志海;田丰;樊坤设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于立式炉的传送系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于立式炉的传送系统及其控制方法，系统包括：中转平台，中转平台两侧分别设有晶圆传送机械手和片盒传送机械手；中转平台包括平台底座、立柱、底板和底座，平台底座上设有立柱，底板安装在立柱上，底座安装在底板上，片盒传送机械手将片盒抽离或插接到底座内，以实现片盒在中转平台上传送；立柱侧部设有第一升降组件和推杆组件，第一升降组件用于驱动推杆组件往复升降，以到达片盒所在的位置，推杆组件用于将晶圆由水平方向推入片盒内，以完成晶圆理片。本发明还公开了基于上述传送系统的控制方法。本发明具有结构简单、易于操作、传动稳定且定位精度高等优点，满足了立式炉全自动化传输的生产需求，提高了立式炉的生产效率。

本发明授权一种用于立式炉的传送系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于立式炉的传送系统，其特征在于，包括：中转平台1，所述中转平台1两侧分别设有用于传送晶圆100的晶圆传送机械手2和用于传送片盒200的片盒传送机械手3；所述中转平台1包括平台底座11、立柱12、底板13和底座14，所述平台底座11上设有立柱12，所述底板13安装在立柱12上，所述底座14安装在底板13上，所述片盒传送机械手3将片盒200抽离或插接到底座14内，以实现片盒200在中转平台1上传送；所述立柱12侧部设有第一升降组件16和推杆组件，所述第一升降组件16用于驱动推杆组件在竖直方向上往复升降，以到达片盒200所在的位置，所述推杆组件用于将晶圆100由水平方向推入片盒200内，以完成晶圆100理片； 所述晶圆传送机械手2包括：安装基座21、旋转基座22、旋转平台23和移动平台；所述安装基座21的端部与旋转基座22连接，所述旋转基座22上设有旋转平台23，所述旋转平台23上设有移动平台，所述移动平台用于承载晶圆100，所述旋转基座22带动旋转平台23旋转，用于实现晶圆100在水平方向内往复移动，以完成晶圆100在片盒200的预设工位上取放。

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