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龙图腾网获悉合肥众群光电科技有限公司申请的专利一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115903397B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211440300.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法是由韩非;高明;陈修涛;董辉设计研发完成，并于2022-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法，涉及数字成像技术领域，解决了现有技术处理之后，曝光图形位置精度各个区域不一致的技术问题；本发明不需要借助复杂的工具，曝光基板是激光直接成像设备常用的生成材料，标定条件及过程非常简单；本发明的数字直接成像设备的对位相机本身是一个经过校准的坐标系，可以识别所曝光图形中的标记图形精确位置，曝光图形的各个位置都可以使用不同的补偿参数进行补偿；本发明补偿成本低，通过对CAM图形进行数字补偿方式，不需要额外的成本提升优化硬件系统；而且补偿自由灵活，CAM图形进行数字补偿的方式，可以根据具体需求对每个细分的区域灵活使用相似变换、仿射变换及透视变换等。

本发明授权一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法，其特征在于，包括： S11：选择一个带有可识别标记图形的CAM资料；通过数字直接成像设备将带有可识别标记图形的CAM资料曝光在基板上，并显示曝光图形； S12：依次抓取显现在基板上标记图形的位置信息，将位置信息转换为数字直接成像设备曝光坐标系下的坐标，标记为实际坐标信息；其中，所述位置信息通过设备对位相机抓取或者经过校准的第三方测量仪抓取； S13：将CAM资料内的标记图形位于CAM坐标系中的位置信息转化为数字直接成像设备曝光坐标下的坐标，标记为理想坐标信息； S14：按照期望补偿精度将曝光坐标系下的坐标列表划分成若干区域；各区域带入标记图形的理想坐标信息和实际坐标信息获取对应区域的误差数据列表；其中，所述误差数据列表通过图形误差数据生成，且所述图形误差数据包括平移、旋转、缩放或者错切； S15：将区域以及对应的误差数据列表作为数字直接成像设备位置精度补偿模板应用到待曝光的CAM资料中，对CAM资料进行分区域图形变换和曝光。

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