圆益IPS股份有限公司金台东获国家专利权
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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115810564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211101412.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由金台东;李晶桓;丁青焕;卢成镐;金颍俊设计研发完成，并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置，更详细地说，涉及通过在高压与低压之间的变压执行基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，包括：工艺腔室100，形成贯通孔150，并且形成内部空间S1；基板支撑部200，在上面放置基板1；气体供应部400，供应用于基板处理的工艺气体；排气部500，向外部排放通过气体供应部400供应的工艺气体；其中，腔室主体110形成有排气通道，排气通道形成在基板支撑轴220外周面与贯通孔150内侧面之间以与排气部500连通。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 工艺腔室100，包括腔室主体110与顶盖140，所述腔室主体110上部开放并且在下部面形成贯通孔150，所述顶盖140结合于腔室主体110的上部以形成内部空间S1； 基板支撑部200，包括基板支撑板210与基板支撑轴220，所述基板支撑板210设置在所述工艺腔室100并且在上面放置基板1，所述基板支撑轴220贯通所述贯通孔150设置以支撑所述基板支撑板210； 气体供应部400，供应用于基板处理的工艺气体； 排气部500，形成在所述腔室主体110的下部，并且向外部排放通过所述气体供应部400供应的工艺气体； 其中，所述腔室主体110形成有排气通道，所述排气通道形成在所述基板支撑轴220外周面与所述贯通孔150内侧面之间以与所述排气部500连通， 所述工艺腔室100包括设置槽130， 所述设置槽130形成为使所述基板支撑部200插入设置在包括所述贯通孔150的所述腔室主体110的底面120。
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