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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种曝光方法及曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115793407B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211512565.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种曝光方法及曝光设备是由徐广峰;钱文欢;陈海巍;王方江;钱聪设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种曝光方法及曝光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种曝光方法及曝光设备，属于印制电路板生产领域。本发明的曝光方法将分图数据处理与对准流程并行处理，有效地缩短了曝光时间；本发明可以将处理好的图片数据缓存于上位机或曝光系统中，同时本发明曝光设备的吸盘具备X轴、Y轴、Z轴及旋转轴四个方向的自由度，可以通过旋转和平移来校正PCB板的放板偏差，从而取代了分图系统中根据基板标记点对准结果对图形进行的旋转和平移处理，该过程减少了分图系统中图形处理耗时，进一步提升了设备产能，同时避免了在图形处理后横线变为小角度斜线带来的台阶状偏差问题，保证了曝光图形的解析精度，提升曝光品质。

本发明授权一种曝光方法及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种曝光方法，其特征在于，所述曝光方法基于一种曝光设备实现；所述曝光设备包括：底座、精密运动系统、对位系统、曝光系统和数据处理系统； 所述精密运动系统包括曝光平台，所述曝光平台下方设有旋转组件，通过所述旋转组件安装于XYZ三轴移动组件上；所述XYZ三轴移动组件包括：Y轴移动轨道、X轴移动平台和Z轴移动平台，所述Y轴移动轨道固定安装于所述底座上，所述X轴移动平台安装于所述Y轴移动轨道上；所述Z轴移动平台安装于所述X轴移动平台上表面的滑动轨道上；所述曝光平台通过所述旋转组件和所述XYZ三轴移动组件实现旋转运动和XYZ三个方向的平移运动； 所述对位系统和曝光系统通过台面支撑结构安装于所述曝光平台上方，所述台面支撑结构固定安装于所述底座上； 所述数据处理系统用于对待曝光的图形进行数字化处理，并将图形数据发送给所述曝光系统； 所述曝光方法包括： 步骤一：将待曝光的PCB板放在曝光平台上，所述对位系统执行对准，上位机保存对准结果； 步骤二：所述数据处理系统根据对准结果对输入的待曝光图形进行分图数据处理，将分图数据处理后的图形发送给所述曝光系统； 步骤三：所述曝光系统对所述PCB板进行曝光； 步骤四：将需要与步骤一曝光相同图案的PCB板放在所述曝光平台上，所述数据处理系统进行分图处理；同时所述对位系统进行对准操作，所述精密运动系统根据当前对准结果和所述步骤一的对准结果对PCB板进行旋转和平移，使当前PCB板放置的位置和角度与步骤一中的位置和角度一致； 步骤五：所述曝光系统对所述PCB板进行曝光； 步骤六：当需要曝光同样图形的PCB板时，重复步骤四和步骤五。

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