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龙图腾网获悉杭州加速科技有限公司申请的专利一种监测晶圆良率的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115565904B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211255530.1，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种监测晶圆良率的方法及装置是由陈永;凌云设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种监测晶圆良率的方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种监测晶圆良率的方法及装置，方法包括连续对不同待检的晶圆进行检测，得到各晶圆的检测结果，基于检测结果，确定当前最新所检测的n个晶圆的良率，若当前最新所检测的n个晶圆的良率低于预设的第一良率值，则提示短期内晶圆良率出现异常。本发明提出的方法有效避免了部分区域的不良芯片偏高会被整体良率均衡，短期内芯片出现异常情况时用户能够较快地收到提示，防止部分区域良率异常无法被感知或者滞后感知的情况发生，使芯片检测的时间和效率得到了一定的保证。

本发明授权一种监测晶圆良率的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种监测晶圆良率的方法，其特征在于，所述方法包括： 连续对不同待检的晶圆进行检测，得到各所述晶圆的检测结果； 基于所述检测结果，确定当前最新所检测的n个晶圆的良率，确定当前总共检测的晶圆的良率； 若当前最新所检测的n个晶圆的良率低于预设的第一良率值，则提示短期内晶圆良率出现异常；若确定当前最新所检测的n个晶圆的良率不低于所述第一良率值，监控是否有新的预设个数的待检晶圆接受检测，若监控到有新的预设个数的待检的晶圆接受检测，重复所述确定当前最新所检测的n个晶圆的良率的步骤；所述预设个数小于n； 若当前总共检测的晶圆的良率低于预设的第二良率值，则提示全期晶圆良率异常； 若监控到有新的预设个数的待检晶圆接受检测，重复执行所述连续对不同待检的晶圆进行检测，得到各所述晶圆的检测结果； 所述方法还包括： 若当前总共检测的晶圆的良率不低于所述第二良率值，判断当前最新所检测的n个晶圆的良率是否低于当前总共检测的晶圆的良率； 若判断结果为是，判断当前最新所检测的n个晶圆的良率低于当前总共检测的晶圆的良率的数值是否超出预设的阈值； 若判断结果为是，提示短期内晶圆良率出现异常。

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