买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉复旦大学;复旦大学义乌研究院申请的专利一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371570B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210926140.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法是由张昊天;郑玉祥;陈良尧;张荣君;王松有;李晶;杨月梅设计研发完成，并于2022-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法。本发明采用光纤导光、光栅以及面阵列探测模式，获取样品的光谱信号，根据反射谱与色品坐标的换算关系，计算出待测样品的色品坐标。通过理论计算获得薄膜的色品坐标与厚度的完整映射关系，对比实测色品坐标与理论映射关系中的色品坐标，可以准确获得薄膜样品的厚度信息。本发明克服了传统光谱测色方式在测量过程中需要旋转光栅或者棱镜进行波长扫描的缺点，实现单次全谱测量，缩短了测量所需的时间。同时，相较传统测量时的波长间隔，本发明采用更密集的光谱获取，从而更加准确的获取色度信息，基于此快速准确地获得了纳米薄膜的厚度信息。

本发明授权一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于色品坐标测量获得薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤： 1通过基于面阵列光谱探测的色度信息获取系统对待测薄膜样品进行测量得到反射谱Rsλ；所述基于面阵列光谱探测的色度信息获取系统包括光源、样品台、光纤、光纤适配器和光栅光谱仪，光源采用连续辐射光源，光纤用于接收反射光，光纤适配器将反射光信号耦合入光栅光谱仪中，光栅光谱仪由面阵列探测器接收并采集读取光信号；具体方法如下： ①首先将光纤旋转至角度θ，由连续辐射光源发出的光入射到厚度已知的薄膜参考样品上，反射后进入光纤，经光纤传输，由光纤适配器进入光栅光谱仪中，获得反射光谱Irλ； ②计算入射光源的光谱强度I0λ： I0λ＝IrλRrλ 其中：Rrλ为薄膜参考样品在θ角下的反射谱Rrλ，其由光学薄膜原理计算得到； ③将待测薄膜样品放在样品台上，在入射角θ下，利用光纤与光栅光谱仪获取反射光谱Isλ； ④计算待测薄膜样品在θ角下的反射谱Rsλ： Rsλ＝IsλI0λ； 2将反射谱Rsλ代入D65光源的光谱数据与CIE1931标准光谱三刺激值，与色品坐标进行换算得到薄膜的实验测得L*a*b*色品坐标； 3基于薄膜传输矩阵与反射定律的理论模型，建立薄膜厚度值与理论L*a*b*色品坐标的映射关系，计算不同厚度值时的理论L*a*b*色品坐标；将实验测得L*a*b*色品坐标与理论L*a*b*色品坐标进行对比，最小化二者的色差，获得薄膜厚度的最优解，求出待测薄膜样品的厚度；其中： 步骤3中，基于薄膜传输矩阵与反射定律的理论模型，建立薄膜厚度值与理论L*a*b*色品坐标的映射关系，并计算不同厚度值时的理论L*a*b*色品坐标时，入射角和实验实际的入射角θ保持一致，将薄膜用自上而下的空气层、薄膜层和衬底层的三层结构表示，首先根据薄膜传输理论计算得到不同厚度d的薄膜的理论反射谱Rmodd,λ，然后将反射谱Rmodd,λ代入D65光源的光谱数据与CIE1931标准光谱三刺激值得到不同厚度薄膜的理论L*a*b*色品坐标L*modd，a*modd，b*modd；计算过程中D65标准光源的光谱分布与CIE1931标准光谱三刺激值的波长范围为380-780纳米，D65标准光源的光谱分布与CIE1931标准光谱三刺激值的波长间隔被插值为Δλ；理论L*a*b*色品坐标L*modd，a*modd，b*modd由下式获得： L*modd＝116fYmoddYn-16 a*modd＝500[fXmoddXn-fYmoddYn] b*modd＝200[fYmoddYn-fZmoddZn] 其中，Xn，Yn，Zn为光源色的三刺激值，对于D65标准光源，Xn＝95.04，Yn＝100，Zn＝108.89，fq由下式获得： Xmodd，Ymodd，Zmodd为不同厚度d的薄膜的理论三刺激值，由下式获得： 其中，Rmodd,λ是根据薄膜传输理论计算得到的不同厚度薄膜的反射率谱，ID65λ是D65标准光源的光谱分布，是CIE1931标准光谱三刺激值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人复旦大学;复旦大学义乌研究院，其通讯地址为：200433 上海市杨浦区邯郸路220号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。