东京毅力科创株式会社阿洛科·兰詹获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利使用低频偏置脉冲的等离子体加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115066735B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080095949.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权使用低频偏置脉冲的等离子体加工方法是由阿洛科·兰詹;彼得·文特泽克;大幡光德设计研发完成，并于2020-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用低频偏置脉冲的等离子体加工方法在说明书摘要公布了：一种等离子体加工方法包括：在第一源功率SP脉冲持续时间内向SP耦合元件提供第一SP脉冲，以在加工室中生成等离子体；在与该第一SP脉冲持续时间重叠的高频偏置功率HBP脉冲持续时间内向设置在该加工室中的衬底固持器提供HBP脉冲；以及在不与该第一SP脉冲持续时间重叠的第一低频偏置功率LBP脉冲持续时间内向该衬底固持器提供第一LBP脉冲。该HBP脉冲包括大于800kHz的HBP脉冲频率。该第一LBP脉冲包括小于约800kHz的LBP脉冲频率。
本发明授权使用低频偏置脉冲的等离子体加工方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体加工方法，包括： 在第一源功率SP脉冲持续时间内向SP耦合元件提供第一SP脉冲，以在加工室中生成等离子体； 在与该第一SP脉冲持续时间的至少一部分重叠的高频偏置功率HBP脉冲持续时间内向设置在该加工室中的衬底固持器提供HBP脉冲，该HBP脉冲包括大于800kHz的HBP脉冲频率；以及 在不与该第一SP脉冲持续时间重叠的第一低频偏置功率LBP脉冲持续时间内向该衬底固持器提供第一LBP脉冲，该第一LBP脉冲包括小于800kHz的LBP脉冲频率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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