周星工程股份有限公司白寅雨获国家专利权
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龙图腾网获悉周星工程股份有限公司申请的专利基板处理设备及基板处理设备的喷射模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981944B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180009934.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理设备及基板处理设备的喷射模块是由白寅雨;金鍾哲;边永燮;吕仁喆设计研发完成，并于2021-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及基板处理设备的喷射模块在说明书摘要公布了：本发明关于一种基板处理设备及基板处理设备的喷射模块。基板处理设备包含一腔体、一盖件、一基板支撑单元、一气体喷射单元及一测量单元。腔体提供一处理空间。盖件覆盖腔体的上部。基板支撑单元支撑至少一基板且绕着一旋转轴旋转。气体喷射单元设置在相对于基板支撑单元的旋转轴的直径方向上方，以喷出一处理气体。测量单元在与直径方向相间隔开的测量位置测量由基板支撑单元所支撑的一基板的温度或基板支撑单元的温度。测量孔设置成平行于直径方向，或设置成在相对于直径方向具有一确定角度的方向上倾斜。
本发明授权基板处理设备及基板处理设备的喷射模块在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 一腔体，提供一处理空间； 一盖件，覆盖该腔体的上部； 一基板支撑单元，支撑至少一基板且绕着一旋转轴旋转； 一气体喷射单元，设置在相对于该基板支撑单元的该旋转轴的直径方向上方，以喷出一处理气体；以及 一测量单元，在与该直径方向相间隔开的测量位置测量由该基板支撑单元所支撑的一基板的温度或该基板支撑单元的温度； 其中该测量单元设置成平行于该直径方向，或设置成在相对于该直径方向具有一确定角度的方向上倾斜， 其中该气体喷射单元包括喷射模块，该喷射模块喷射该处理气体， 其中该测量单元包括形成在该喷射模块中的测量孔， 其中该喷射模块包括喷射该处理气体的多个喷射孔， 其中该测量孔设置成与所述喷射孔相间隔开， 其中该测量孔设置成平行于该直径方向，或设置成在相对于该直径方向具有确定角度的方向上倾斜。
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