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南亚科技股份有限公司黄庆玲获国家专利权

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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利半导体元件的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114078757B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110794658.4,技术领域涉及:H10W70/652;该发明授权半导体元件的制备方法是由黄庆玲;蔡镇宇;杨承翰;陈奕儒设计研发完成,并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体元件的制备方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种半导体元件的制备方法。该制备方法包括:在一基底中形成一主动区,其中该主动区具有一线性的顶视图形状;在该基底上形成一栅极结构,其中该栅极结构具有与该主动区的一部分相交的一线性部分,其中该部分是远离该主动区的一端部;在该基底上形成一第一绝缘层及一第二绝缘层,其中该第一绝缘层是横向包围该栅极结构,且被该第二绝缘层覆盖;形成一开口,贯穿该第一绝缘层以及该第二绝缘层且曝露该主动区的一部分,其中该开口与该栅极结构横向间隔开;以及在该开口中依序形成一介电层及一电极。

本发明授权半导体元件的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体元件的制备方法,包括: 在一基底中形成一主动区,其中该主动区具有一线性的顶视图形状; 在该基底上形成一栅极结构,其中该栅极结构具有与该主动区的一部分相交的一线性部分,其中该部分是远离该主动区的一端部; 在基底上形成一第一绝缘层及一第二绝缘层,其中该第一绝缘层是横向包围该栅极结构,且被该第二绝缘层覆盖; 形成一开口,贯穿该第一绝缘层以及该第二绝缘层且曝露该主动区的一部分,其中该开口与该栅极结构横向间隔开;以及 在该开口中依序形成一介电层及一电极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南亚科技股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新北市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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