佳能株式会社早川崇志获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利曝光设备和用于制造制品的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114002917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110841387.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光设备和用于制造制品的方法是由早川崇志;江本圭司设计研发完成，并于2021-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光设备和用于制造制品的方法在说明书摘要公布了：本申请涉及曝光设备和用于制造制品的方法。根据本发明的曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；驱动单元，配置成驱动基板台，驱动单元包括多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力；以及控制器，配置成控制驱动单元，以便当对基板上的多个投射区域中的每一个曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。
本发明授权曝光设备和用于制造制品的方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括： 基板台，基板安装在基板台上； 驱动单元，配置成沿扫描方向驱动基板台，驱动单元包括第一致动器和第二致动器，第一致动器和第二致动器分别配置成向基板台施加第一推力和第二推力；以及 控制器，配置成控制驱动单元，以便在对基板上的多个投射区域中的每一个曝光的曝光时间段中在使基板台沿扫描方向移动的同时对基板上的多个投射区域中的每一个曝光； 其中，控制器配置成使第一致动器沿扫描方向的第一取向对基板台施加第一推力并使第二致动器沿扫描方向的与第一取向相反的第二取向对基板台施加第二推力，并控制驱动单元使得通过改变第一推力和第二推力的每一个来使第一推力和第二推力的总推力根据正弦函数变化，当总推力的取向改变时第一推力的大小和第二推力的大小中的任一个不变为零，以便在曝光时间段中使基板台沿扫描方向移动。
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