佳能特机株式会社小林康信获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利基板处理系统以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112018008B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010114405.3，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板处理系统以及基板处理方法是由小林康信设计研发完成，并于2020-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理系统以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法。在将从原板切出为规定的大小的基板搬运到处理装置来进行成膜等基板处理工序时，抑制基板处理工序的精度的降低。本发明的基板搬运系统，用于搬运从原板切出为规定的大小的基板，其特征在于，包括搬运所述基板的搬运机构和控制所述搬运机构的搬运控制部，所述搬运控制部基于与所述基板的从原板切出的切出位置相关的信息，控制所述搬运机构。
本发明授权基板处理系统以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，包括： 多个处理装置，其用于对从原板切出为规定的大小的基板进行规定的处理；以及 基板搬运系统，其用于搬运从所述原板切出为规定的大小的所述基板， 所述基板处理系统的特征在于， 所述基板搬运系统包括： 搬运机构，其搬运所述基板；以及 搬运控制部，其控制所述搬运机构， 所述搬运控制部基于与所述基板的从原板切出的切出位置相关的信息，控制所述搬运机构， 所述处理装置包括用于控制对所述基板的处理工序的处理控制部， 所述处理控制部基于与所述基板的切出位置相关的信息，控制对所述基板的处理工序， 所述处理控制部基于根据所述基板的所述切出位置而设定的参数值，控制对所述基板的规定的处理， 在对规定的切出位置的基板更新了所述参数值的情况下，更新对相同切出位置的基板进行处理的其他处理装置中的该参数值， 所述处理装置还包括基板支承单元，所述基板支承单元用于支承由所述基板搬运系统的搬运机构搬入到所述处理装置内的所述基板， 所述参数值是所述基板支承单元相对于进入到所述处理装置内的所述搬运机构的位置的相对位置的补偿校正值。
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