台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司张鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223957958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520514638.0，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型晶圆检测系统是由张鹏;裴达飞;王云成;皮凤东;陈定操;王恒设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测系统在说明书摘要公布了：一种晶圆检测系统，其包含晶圆检测工具。照明源在晶圆检测工具中并用以产生辐射束。第一光学元件及第二光学元件在晶圆检测工具中并与照明源光耦合。第一光束检查工具在第一光学元件与第二光学元件之间，其中第一光束检查工具包含第一孔洞，且第一光学元件及第二光学元件经由第一光束检查工具的第一孔洞光耦合。
本实用新型晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测系统，其特征在于，包含： 一晶圆检测工具； 一照明源，其在该晶圆检测工具中并用以产生一辐射束； 一第一光学元件及一第二光学元件，其在该晶圆检测工具中并与该照明源光耦合；及 一第一光束检查工具，其在该第一光学元件与该第二光学元件之间，其中该第一光束检查工具包含一第一孔洞，且该第一光学元件及该第二光学元件经由该第一光束检查工具的该第一孔洞光耦合。
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