深圳中科飞测科技股份有限公司段晓炳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利晶圆承载机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223957953U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520171479.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆承载机构是由段晓炳;董坤玲设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种晶圆承载机构，包括：设置在第一水平面上且沿第一预设圆形的周向间隔排布的第一夹持组件和多个第一支撑块，第一夹持组件的两侧设置有第一支撑块，第一夹持组件朝向第一预设圆形圆心的一端可伸缩；设置在第二水平面上且沿第二预设圆形的周向间隔排布的第二夹持组件和多个第二支撑块，第二夹持组件的两侧设置有第二支撑块，第二夹持组件朝向第二预设圆形圆心的一端可伸缩；升降组件用于驱动第二夹持组件和多个第二支撑块在第一水平面和第二水平面之间进行切换。本实用新型提供的晶圆承载机构至少适用于对多种尺寸晶圆的夹持固定。
本实用新型晶圆承载机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载机构，其特征在于，包括： 设置在第一水平面上且沿第一预设圆形的周向间隔排布的第一夹持组件102和多个第一支撑块101，所述第一夹持组件102的两侧设置有所述第一支撑块101，所述第一夹持组件102朝向所述第一预设圆形圆心的一端可伸缩； 设置在第二水平面上且沿第二预设圆形的周向间隔排布的第二夹持组件113和多个第二支撑块111，所述第二夹持组件113的两侧设置有所述第二支撑块111，所述第二夹持组件113朝向所述第二预设圆形圆心的一端可伸缩； 升降组件，所述升降组件用于驱动所述第二夹持组件113和多个所述第二支撑块111在所述第一水平面和所述第二水平面之间进行切换； 其中，所述第二水平面位于所述第一水平面上方，所述第一预设圆形与所述第二预设圆形正对，且所述第一预设圆形的半径大于所述第二预设圆形的半径。
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