无锡尚积半导体科技股份有限公司范雄获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利一种超高真空晶圆寻边装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223957936U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520415178.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种超高真空晶圆寻边装置是由范雄;田文康;韩超然;王兆丰;王世宽设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空晶圆寻边装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种超高真空晶圆寻边装置，包括壳体，所述壳体的内部设置有真空腔室，并且壳体的上端面和下端面分别固定连接于激光接收器和激光发射器，所述壳体的下端面设置有通孔，并且通孔处固定连接有安装板，所述安装板的上下端均设有第一磁铁和第二磁铁，并且第一磁铁和第二磁铁之间磁力配，所述第一磁铁的上端固定连接有转轴，所述转轴的上端固定连接有承载盘，所述第二磁铁的下方设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端和第二磁铁传动连接。本发明，通过第一磁铁和第二磁铁之间的吸引，能够避免在真空腔的底部开孔连接外部的电机，从而无须考虑此处的密封，避免真空腔发生泄漏。
本实用新型一种超高真空晶圆寻边装置在权利要求书中公布了：1.一种超高真空晶圆寻边装置，包括壳体2，所述壳体2的内部设置有真空腔室，并且壳体2的上端面和下端面分别固定连接于激光接收器5和激光发射器6，其特征在于，所述壳体2的下端面设置有通孔，并且通孔处固定连接有安装板7，所述安装板7的上下端均设有第一磁铁14和第二磁铁15，并且第一磁铁14和第二磁铁15之间磁力配合； 所述第一磁铁14的上端固定连接有转轴11，所述转轴11的上端固定连接有承载盘10，所述第二磁铁15的下方设置有驱动电机1，所述驱动电机1的输出端和第二磁铁15传动连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡尚积半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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