江苏中科晶元信息材料有限公司许子俊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科晶元信息材料有限公司申请的专利一种砷化镓晶圆合成加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223957931U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520288337.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种砷化镓晶圆合成加热装置是由许子俊;袁许飞;李琪荣设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓晶圆合成加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种砷化镓晶圆合成加热装置，具体涉及晶圆加工技术领域，包括框架，框架内设置有升降驱动单元，升降驱动单元包括导向盒、双向丝杆、一对滑座和旋转电机一，旋转电机一的输出端贯穿框架并固定连接在双向丝杆的一端；升降驱动单元上设置有一对加热盘；框架上设置有转动支撑组件，转动支撑组件位于一对加热盘之间，转动支撑组件上设置有托环，托环上至少设置有三个移动组件，每个移动组件上均设置有晶圆边座，晶圆边座用于承载砷化镓晶圆，转动支撑组件上设置有用于传动旋转的的齿槽；本实用新型通解决了如何实现晶圆动态加热来提高加热效率和质量的技术问题。
本实用新型一种砷化镓晶圆合成加热装置在权利要求书中公布了：1.一种砷化镓晶圆合成加热装置，包括框架1，其特征在于：所述框架1内设置有升降驱动单元2，所述升降驱动单元2上设置有一对加热盘3； 所述框架1上设置有转动支撑组件5，所述转动支撑组件5位于一对加热盘3之间，所述转动支撑组件5上设置有托环6，所述托环6上至少设置有三个移动组件7，每个移动组件7上均设置有晶圆边座8，所述晶圆边座8用于承载砷化镓晶圆，所述转动支撑组件5上设置有用于传动旋转的齿槽9。
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