深圳市新凯来工业机器有限公司林武斌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利一种气体质量流量控制器过滤结构及气体输送管路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223954964U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520730653.9，技术领域涉及：G01F15/12；该实用新型一种气体质量流量控制器过滤结构及气体输送管路系统是由林武斌;杨海娥;方庆银;杨益强设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体质量流量控制器过滤结构及气体输送管路系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种气体质量流量控制器过滤结构，涉及半导体生产制造技术领域，气路结构件内部设置的气流通道用于引导气体流动，气流通道的进入端设置第一阶梯槽，第一阶梯槽的直径大于气流通道的直径，在第一阶梯槽与气流通道的交界处形成第一台阶面，过滤网焊接固定于第一台阶面上，过滤网的四周被第一台阶面支撑；过滤网的直径大于气流通道的直径，从而完全覆盖气流通道；由于采用焊接固定的形式，气流通过时滤网和气路结构件之间不会发生相对运动从而产生摩擦引发颗粒，且过滤网可以对气流通道100%完全覆盖，拦截效率高可以达到高洁净的效果。
本实用新型一种气体质量流量控制器过滤结构及气体输送管路系统在权利要求书中公布了：1.一种气体质量流量控制器过滤结构，其特征在于，包括：气路结构件10和过滤网20，所述气路结构件10开设有气流通道101，所述气流通道101的进入端设置第一阶梯槽102，所述第一阶梯槽102的直径大于所述气流通道101的直径； 所述过滤网20焊接固定于所述第一阶梯槽102与所述气流通道101交界处的第一台阶面1021上，所述过滤网20的直径大于所述气流通道101的直径，以完全覆盖所述气流通道101。
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