浙江创芯集成电路有限公司叶洲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种边缘环平整度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223954906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520796406.9，技术领域涉及：G01B21/30；该实用新型一种边缘环平整度检测装置是由叶洲;靳忆帆设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种边缘环平整度检测装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种边缘环平整度检测装置，应用于气相沉积腔室，所述气相沉积腔室包括基座和位于所述基座边缘的边缘环，所述基座内设置有加热器，用于对所述基座进行加热，所述边缘环平整度检测装置包括：检测主体，和环绕所述检测主体边缘的接触指示结构；其中，所述检测主体沿垂直方向的投影与所述基座沿垂直方向的投影重合；位于所述检测主体上的定位旋转装置，所述定位旋转装置用于将检测主体定位至所述基座背离所述加热器的一侧的预设位置，在所述预设位置处，所述检测主体的外缘与所述基座的外缘相匹配；并在该预设位置旋转所述检测主体。本申请实施例能够检测边缘环的平整度，从而提高基板薄膜沉积的沉积效果。
本实用新型一种边缘环平整度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种边缘环平整度检测装置，其特征在于，应用于气相沉积腔室，所述气相沉积腔室包括基座和位于所述基座边缘的边缘环，所述基座内设置有加热器，用于对所述基座进行加热，所述边缘环平整度检测装置包括： 检测主体，和环绕所述检测主体边缘的接触指示结构；其中，所述检测主体沿垂直方向的投影与所述基座沿垂直方向的投影重合； 位于所述检测主体上的定位旋转装置，所述定位旋转装置用于将检测主体定位至所述基座背离所述加热器的一侧的预设位置，在所述预设位置处，所述检测主体的外缘与所述基座的外缘相匹配；并在该预设位置旋转所述检测主体。
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