河南大学李一猛获国家专利权
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龙图腾网获悉河南大学申请的专利一种薄膜制备用自动旋涂装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223946043U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520485818.0,技术领域涉及:B05C5/02;该实用新型一种薄膜制备用自动旋涂装置是由李一猛;常澜馨;蒋浩然;孙海翔;任怡恺;杭晨轩设计研发完成,并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜制备用自动旋涂装置在说明书摘要公布了:一种薄膜制备用自动旋涂装置,涉及薄膜制备技术领域,包括工作台、转盘、第一电机、夹紧组件、滴胶装置和加热装置;工作台作为基础平台,顶部转动连接有转盘,转盘底部安装有第一电机,用于驱动转盘按设定角度间歇旋转;转盘上沿环向间隔设置多个凹槽,每个凹槽内均设有夹紧组件,用于夹紧基板;滴胶装置和加热装置分别安装在工作台两侧,通过第一升降装置和第二升降装置控制其升降,实现对基板的自动滴胶、旋涂和加热处理;本实用新型通过集成化设计,避免了传统多台仪器配合使用带来的繁琐操作和人为失误风险,实现了薄膜制备过程的自动化;同时,减少了基片在不同工序间的人工转运次数,有效降低了污染风险。
本实用新型一种薄膜制备用自动旋涂装置在权利要求书中公布了:1.一种薄膜制备用自动旋涂装置,其特征在于,包括: 工作台1,作为基础; 转盘2,所述转盘2与工作台1转动连接; 第一电机3,所述第一电机3安装在工作台1上,用于驱动转盘2按既定角度间歇式旋转; 凹槽4,所述凹槽4为沿转盘2环向间隔设置的多个; 夹紧组件5,所述夹紧组件5设于凹槽4内,用于夹紧基板,且与转盘2转动连接; 第二电机6,所述第二电机6安装于转盘2底部,用于驱动夹紧组件5旋转; 滴胶装置7,所述滴胶装置7安装于工作台1上,用于向基板滴胶; 加热装置8,所述加热装置8安装于滴胶装置7的一侧,用于对基板上的薄膜进行加热退火。
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