季华实验室毕海获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种基板调整装置及蒸镀机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121407027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512003043.6,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种基板调整装置及蒸镀机是由毕海;韦俊杰;徐成设计研发完成,并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板调整装置及蒸镀机在说明书摘要公布了:本申请涉及蒸镀技术领域,本申请提供一种基板调整装置及蒸镀机,基板调整装置包括支撑组件、微动平台、升降机构和第二升降杆,支撑组件包括承托架和设于承托架上的承托板,承托板用于承托基板,微动平台用于微调基板的位置,升降机构包括第一升降杆与连杆机构,第一升降杆通过连杆机构与微动平台传动连接,且连杆机构与承托架转动连接,第二升降杆与承托架固接,以通过分别驱动第一升降杆和第二升降杆升降,使承托架和微动平台之间相对摆动而调整承托板和微动平台的相对位置,通过连杆机构与升降杆的配合,实现承托状态与微调状态的平稳切换,降低运动控制难度,提升位置调整稳定性,为提升基板与掩模板的对位精度提供条件。
本发明授权一种基板调整装置及蒸镀机在权利要求书中公布了:1.一种基板调整装置,其特征在于:包括: 支撑组件100,其包括承托架110和设于所述承托架110上的承托板120,所述承托板120用于承托基板; 微动平台200,其设于所述承托板120的一侧,用于微调所述基板的位置; 升降机构300,其包括第一升降杆310与连杆机构320,所述第一升降杆310通过所述连杆机构320与所述微动平台200传动连接,且所述连杆机构320与所述承托架110转动连接; 第二升降杆400,其与所述承托架110固接,以通过分别驱动所述第一升降杆310和所述第二升降杆400升降,使所述承托架110和所述微动平台200之间相对摆动以调整所述承托板120和所述微动平台200的相对位置。
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