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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆烘干控制方法、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121383613B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511783883.2，技术领域涉及：F26B25/22；该发明授权一种晶圆烘干控制方法、设备及介质是由杨振;吴疆设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆烘干控制方法、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆烘干控制方法、设备及介质，涉及半导体制造领域，方法包括：采集晶圆表面状态数据、温度分布数据和气流状态数据构建多模态状态特征；分析晶圆表面干燥均匀度变化趋势、温度场稳定性指标和气流分布均匀性生成工艺健康度评估结果；迭代求解晶圆烘干控制系统的最优控制参数组合，动态生成控制动作指令并转换为晶圆烘干控制系统可执行的驱动信号，通过分布式驱动电路控制加热装置的分区加热单元、变频风机的转速调节机构和多路阀门的开度执行器；在烘干过程中监测晶圆烘干控制系统中各执行机构的实际运行状态，比对监测数据与预期状态，在检测到状态偏差时触发控制参数更新。

本发明授权一种晶圆烘干控制方法、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘干控制方法，其特征在于，所述方法包括： 通过预先部署在晶圆烘干设备中的多传感器，实时采集晶圆烘干工艺腔体内的晶圆表面状态数据、温度分布数据和气流状态数据，构建包含时间序列特征的多模态状态特征；所述工艺腔体包括进气装置、晶圆承载装置和出气装置； 基于所述多模态状态特征，分析晶圆表面干燥均匀度变化趋势、温度场稳定性指标和气流分布均匀性，以生成当前烘干阶段的工艺健康度评估结果； 基于所述工艺健康度评估结果，迭代求解晶圆烘干控制系统的最优控制参数组合，并根据所述最优控制参数组合，动态生成包含加热装置分区功率设定值、变频风机转速梯度设定值和多路阀门开度协调设定值的控制动作指令； 将所述控制动作指令转换为所述晶圆烘干控制系统可执行的驱动信号，通过分布式驱动电路控制加热装置的分区加热单元、变频风机的转速调节机构和多路阀门的开度执行器； 在烘干过程中，持续监测所述晶圆烘干控制系统中各执行机构的实际运行状态，将监测数据与预期状态进行实时比对，并在检测到状态偏差时触发控制参数更新，以形成闭环控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛贝斯兰半导体科技有限公司，其通讯地址为：266500 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号智造谷5#楼厂房1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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