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深圳市优界科技有限公司卢国强获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市优界科技有限公司申请的专利一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121347399B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511902008.1,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备及方法是由卢国强;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备及方法,包括分选转盘,所述分选转盘上有两个以上等间隔设置的吸嘴组件,所述分选转盘上方设置有吸嘴下压模组,所述分选转盘下方还设置有安装板、视觉检测模组、侧面检测模组和收料模组,所述视觉检测模组设置在安装板上,且沿分选转盘旋转路径依次设置,所述视觉检测模组包括激光检测模组、红外检测模组和可见光检测模组,所述侧面检测模组包括第一侧面检测模组和第二侧面检测模组,整个分选转盘旋转式检测,工作效率高,检测精度高。

本发明授权一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于视觉检测的转盘式取放半导体器件设备,包括分选转盘,所述分选转盘上有两个以上等间隔设置的吸嘴组件,其特征在于:所述分选转盘下方还设置有安装板和视觉检测模组,所述视觉检测模组滑动设置在安装板上,所述视觉检测模组包括沿分选转盘自上料端到下料端的旋转路径依次设置激光检测模组、红外检测模组和可见光检测模组,旋转路径为弧形,视觉检测模组移动路径为直线,激光检测模组相对分选转盘移动并测量距离值,根据测量距离值确定视觉检测模组的最优焦距调整值,然后根据最优焦距调整值调整视觉检测模组的焦距,红外检测模组用于在最优焦距下获取两张以上相对移动时吸嘴组件上晶圆的图片并对晶圆内部形状进行检测,可见光检测模组用于在最优焦距下获取两张以上相对移动时吸嘴组件上晶圆的图片并对晶圆外部表面进行检测;所述分选转盘下方且位于视觉检测模组的一侧设置有侧面检测模组,所述侧面检测模组包括第一侧面检测模组和第二侧面检测模组,第一侧面检测模组用于获取吸嘴组件上晶圆两相对侧面的图片并对晶圆两相对侧面的外观进行检测,第二侧面检测模组用于获取吸嘴组件上晶圆另外两相对侧面的图片并对晶圆另外两相对侧面的外观进行检测; 所述激光检测模组包括第一底座、第一一直线模组、第一固定板、第一二直线模组和检测光源,安装板上设置有镂空区域,所述第一底座设置在镂空区域上,所述第一一直线模组设置在第一底座上并与安装板垂直设置,所述第一固定板设置在第一一直线模组的导轨滑块上,所述第一一直线模组与第一二直线模组滑动连接设置,所述第一二直线模组通过安装组件设置在安装板上并与安装板平行设置,所述第一固定板的顶端设置有检测光源; 所述红外检测模组包括第二底座、第二一直线模组、支撑板、第二固定板和第二二直线模组,所述第二底座固定设置在安装板的前侧,所述第二一直线模组通过紧固件设置在第二底座上并与安装板平行设置,所述支撑板与第二一直线模组滑动连接设置,所述支撑板为两块垂直放置的板体,两块板体之间设置有加强筋,所述第二二直线模组通过紧固件设在支撑板上并与安装板垂直设置,所述第二固定板与第二二直线模组滑动连接设置; 所述可见光检测模组包括第三底座、第三一直线模组、第三固定板、第三二直线模组,所述第三底座设置在安装板另一端的镂空区域上,所述第三一直线模组设置在第三底座上并与安装板垂直设置,所述第三固定板设置在第三一直线模组的导轨滑块上,所述第三一直线模组与第三二直线模组滑动连接设置,所述第三二直线模组通过安装组件设置在安装板上并与安装板平行设置;所述第一固定板、第二固定板和第三固定板上均设置有镜头支座和镜头压块,镜头支座和镜头压块固定有视觉检测设备,所述视觉检测设备的检测端朝向上方设置; 所述第一侧面检测模组包括第一棱镜块、第四直线模组和第四固定板,所述第四直线模组通过板件固定设置在分选转盘的下方,第四直线模组与安装板平行设置,所述第四固定板为两个平行设置的板体,两个板体之间设置有第一摄像头,第一摄像头向上设置,第四固定板的一端通过连接件与第四直线模组滑动连接设置,第四固定板的另一端上设置有两个第一棱镜块,第一棱镜块一侧的倾斜面向第一摄像头中心向下向外设置,两个第一棱镜块之间形成供吸嘴组件吸附晶圆移动的间隙; 所述第二侧面检测模组包括第二棱镜块、气缸、固定架和第五固定板,所述第五固定板与安装板垂直设置,第五固定板的一端固定设置在分选转盘的下方,第五固定板的另一端上设置有气缸,所述固定架一端与气缸连接,固定架的另一端上设置有两个第二棱镜块,两个第二棱镜块的下方分别对应设置有第二摄像头,第二棱镜块一侧的倾斜面向第二摄像头中心向下向外设置,两个第二棱镜块之间设置有容纳晶圆的空间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市优界科技有限公司,其通讯地址为:518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区澜清二路6号三一云都3号研发楼402;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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