深圳市优界科技有限公司卢国强获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市优界科技有限公司申请的专利多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121310940B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511843295.3,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置及方法是由卢国强;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置及方法,包括取放模组、移动模组和缓存模组,取放模组包括取放座、第一取放组件和第二取放组件,第一取放组件包括第一取放移动机构和第一取放机构,第二取放组件包括第二取放移动机构和第二取放机构,第一取放机构的取放位与第二取放机构的取放位在X轴方向上相对设置;缓存模组与取放模组在Y轴方向上相对设置,在取放模组与缓存模组之间具有空间;缓存模组包括缓存支架和缓存夹爪机构,缓存夹爪机构设置在缓存支架上,缓存夹爪机构的夹取方向朝向取放模组设置。本发明,其传输半导体器件中载膜机构可靠性高,且设备利用率高,不占用过多的设备空间。
本发明授权多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置及方法在权利要求书中公布了:1.多机械臂协同输送半导体器件中载膜机构的装置,其特征在于:包括取放模组、移动模组和缓存模组;所述取放模组包括取放座、至少一第一取放组件和至少一第二取放组件,第一取放组件包括第一取放移动机构和第一取放机构,第二取放组件包括第二取放移动机构和第二取放机构,取放座设置在移动模组上,第一取放移动机构和第二取放移动机构设置在取放座上,第一取放机构设置在第一取放移动机构上,第二取放机构设置在第二取放移动机构上,第一取放机构的取放位与第二取放机构的取放位在X轴方向上相对设置;第一取放机构的取放位与取料区域相对设置,第二取放机构的取放位与分选载台相对设置; 所述缓存模组与取放模组在Y轴方向上相对设置,在取放模组与缓存模组之间具有空间;所述缓存模组包括缓存支架和缓存夹爪机构,缓存夹爪机构设置在缓存支架上,缓存夹爪机构的夹取方向朝向取放模组设置;通过第一取放机构、第二取放机构和缓存夹爪机构的协同作用,将位于该装置一侧的载膜机构转移到另一侧的分选载台内。
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