浙江大学杭州国际科创中心胡慧琴获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121171916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511695768.X，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统及方法是由胡慧琴;杨青;徐月暑;柏凌;谷杨帅;刘旭;崔玉栋;匡翠方设计研发完成，并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统及方法，属于晶圆质量检测领域。该系统包括信号光路、参考光路、检测光路和一个同步探测模块。探测光束和参考光束干涉后，经偏振分束器分解为H、V两路，由第一相机和第二相机同步探测。本发明还提供了一种方法：同步采集两路时域干涉数据和；对每个像素点执行傅里叶变换，得到复数光谱对；处理单元基于该光谱对并行解码，同步反演出图案晶圆的三维形貌、应力、薄膜参数等多维度物理参数；最后对比识别缺陷。本发明解决了现有技术检测效率低、信息维度单一的问题，实现了宽场、高速、高精度和多参量同步综合表征。
本发明授权一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于双光梳的图案晶圆多参量同步检测系统，其特征在于，包括： 信号光路，包括沿光路布置的第一光梳、第一偏振器、第一扩束镜，所述信号光路用于产生探测光束； 参考光路，包括沿光路布置的第二光梳、声光移频模块、第二偏振器、第二扩束镜，所述声光移频模块用于对光束进行光学频率平移，所述参考光路用于产生参考光束； 分束单元，包括主分束器和取样分束器； 检测光路，包括沿光路布置的成像透镜、物镜、位移台，所述探测光束经主分束器反射后经检测光路照射到放置在所述位移台上的图案晶圆并产生反射的返回光经所述物镜、透镜、主分束器后到达所述取样分束器，并与到达所述取样分束器的参考光束干涉形成干涉光束； 同步探测模块，包括偏振分束器和第一相机、第二相机，所述干涉光束经所述取样分束器反射后入射到所述偏振分束器被分解为水平偏振分量H和垂直偏振分量V两个正交偏振分量，分别由第一相机和第二相机探测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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