买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利镀膜系统及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121161263B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511697418.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权镀膜系统及镀膜方法是由张岳;徐正伟;张金刚设计研发完成，并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本镀膜系统及镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种镀膜系统及镀膜方法，属于镀膜技术领域。镀膜系统包括反应腔体和进气装置，进气装置具有两个分支分配管，两管上分别设有多个沿腔体高度方向对应分布的腔体进气管，且两管内气体流向相反；各分支分配管上的腔体进气管管径沿气体流向逐渐增大，且两管上的管径序列互为逆序。本发明通过流向相反、管径逆序递增的双分支管结构，有效克服了大尺寸ALD+派瑞林一体镀膜设备中垂直方向气体分配不均问题，实现了基材上ALD镀膜厚度的优异均匀性，显著提升镀膜质量与批次一致性，节约前驱体原料，并确保派瑞林层的完整保形沉积，从而协同增强系统的镀膜性能与整体工艺效率。

本发明授权镀膜系统及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种镀膜系统，其特征在于，包括反应腔体以及设置于所述反应腔体内的样品台和至少一个进气装置；所述样品台用于承载基材； 所述进气装置包括： 第一分支分配管与第二分支分配管，所述第一分支分配管上设置有多个第一腔体进气管，所述第二分支分配管上设置有多个第二腔体进气管，且所述多个第一腔体进气管与第二腔体进气管在沿所述反应腔体高度方向上一一对应； 所述第一分支分配管内的气体流向与所述第二分支分配管内的气体流向相反； 在各分支分配管内，多个腔体进气管的管径沿气体流向逐渐增大，且所述多个第一腔体进气管的管径值序列与所述多个第二腔体进气管的管径值序列互为逆序； 所述样品台可旋转地设置于所述反应腔体中心，所述样品台沿所述反应腔体高度方向分为用于承载多个基材的多层，所述样品台的层数与所述第一腔体进气管或第二腔体进气管的数量相同； 所述第一腔体进气管和第二腔体进气管的出口方向被配置为：使其出气流的下边缘与对应层的基材底面持平，且使其出气流的中心轴线指向对应层远离样品台中心的区域； 在各分支分配管内，腔体进气管的最大管径满足以下关系： 其中，为各分支分配管内腔体进气管的最大管径； k为比例系数，k的取值范围为0.25~0.4； h为所述样品台的单层高度； 在各分支分配管内，相邻腔体进气管的管径沿气体流向的增大比例为10%~30%。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海派拉纶生物技术股份有限公司，其通讯地址为：201812 上海市嘉定区江桥镇金园三路223号2幢301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。