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清软微视(杭州)科技有限公司陈仕江获国家专利权

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龙图腾网获悉清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121120837B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511612920.3,技术领域涉及:G06T11/10;该发明授权一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法及系统是由陈仕江;周继乐;陈凯;时彩红设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法及系统,通过随机图像采集,获取可能存在缺陷信息的同一类型芯粒的多张图像;通过位姿对齐和亮度调整,使多个芯粒在物理空间上保持一致;通过预训练的卷积神经网络模型提取多尺度特征,判断区域位置的差异信息,并以此为依据选取无差异区域进行内容填充;若干无差异区域像素级信息进行融合,生成最终黄金芯粒的像素内容,具体的,在给定若干可能包含缺陷芯粒图像的基础上,通过彼此之间的相互关系,判定每个位置无缺陷的标准形貌,从而实现黄金芯粒的像素级合成,为有图案晶圆缺陷检测过程提供有效的参考依据。

本发明授权一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于多尺度特征比较的黄金芯粒图像生成方法,其特征在于,所述方法包括: 获取同一类型芯粒的若干芯粒图像; 通过频域分析,确定所述芯粒图像的若干特征点,并根据若干特征点的物理空间分布,确定特征点的标准位置信息; 针对每一芯粒,建立各所述特征点与所述标准位置信息的映射矩阵,并采用仿射变换将芯粒图像进行变换,以完成芯粒位姿对齐; 根据预设聚合区域,统计芯粒图像在特征维度的像素亮度均值,求解每一个芯粒相较于像素亮度均值的gamma校正的映射信息,并根据所述映射信息,对芯粒图像进行像素增量修复,以完成芯粒亮度对齐; 根据预训练的卷积神经网络模型,提取芯粒位姿和芯粒亮度对齐后的芯粒图像的多尺度特征,并根据所述多尺度特征,确定无差异区域,并选取所述无差异区域进行填充; 将填充后的各无差异区域进行泊松融合处理,生成黄金芯粒图像; 所述根据预设聚合区域,统计芯粒图像在特征维度的像素亮度均值,求解每一个芯粒相较于像素亮度均值的gamma校正的映射信息,并根据所述映射信息,对芯粒图像进行像素增量修复,以完成芯粒亮度对齐的步骤包括: 步骤一,根据预设聚合区域,统计芯粒图像的像素亮度均值,将所述像素亮度均值作为所有芯粒的标准亮度基准; 步骤二,针对每一个芯粒,将自身的预设聚合区域的像素亮度均值与所述标准亮度基准进行对比,确定亮度偏差程度,并根据所述亮度偏差程度,建立对应芯粒的gamma校正映射表; 步骤三,遍历芯粒图像的每一个像素点,根据所述像素点的原始像素亮度值以及所述gamma校正映射表,确定校正后的亮度值,并替换原始像素亮度值; 步骤四,重新统计芯粒在预设聚合区域内的像素亮度均值,判断重新统计芯粒在预设聚合区域内的像素亮度均值与所述标准亮度基准的偏差是否在预设范围内; 步骤五,若否,则重新调整gamma校正映射表的参数,重复步骤四中的操作,直至芯粒在预设聚合区域内的像素亮度均值与所述标准亮度基准的偏差在预设范围内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人清软微视(杭州)科技有限公司,其通讯地址为:311121 浙江省杭州市余杭区仓前街道余杭塘路2959号2幢1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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