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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121109987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511656463.8，技术领域涉及：C23C16/20；该发明授权一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法和系统是由孙占山;安强;付云起设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法和系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法和系统，其中，制备方法包括：S1.将清洗后的原子气室放置于反应室的加热基台上，向反应室充入置换气以排出其中的残留气体；S2.向反应室充入铝源气体，在原子气室的壁面发生化学吸附以形成第一膜层；S3.向反应室充入置换气以排出其中的残留铝源气体；S4.向反应室充入氧化物气体，以氧化第一膜层并转变为氧化铝膜层；S5.向反应室充入置换气以排出其中的残留氧化物气体；S6.重复步骤S2至S5，以在原子气室的壁面上形成预设层数和预设厚度的氧化铝膜层，以形成具有蓝宝石镀膜的原子气室。本发明可增强碱金属原子气室抗屏蔽能力，提升原子气室电磁波精密测量性能。

本发明授权一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于蓝宝石镀膜原子气室的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.将清洗后的原子气室放置于反应室的加热基台上，并向所述反应室充入置换气以排出其中的残留气体； S2.向所述反应室充入铝源气体，并基于原子层沉积技术在所述原子气室的壁面发生化学吸附，以形成第一膜层； S3.向所述反应室充入置换气以排出其中的残留铝源气体； S4.向所述反应室充入氧化物气体，以氧化所述第一膜层并转变为氧化铝膜层； S5.向所述反应室充入置换气以排出其中的残留氧化物气体； S6.重复步骤S2至S5，以在所述原子气室的壁面上形成预设层数和预设厚度的氧化铝膜层，以形成具有蓝宝石镀膜的原子气室； 实施上述镀膜的镀膜单元1包括：具有加热基台的反应室11，与所述反应室11相连接的第一管路12，与所述第一管路12相连接的铝源装置13、氧化物源装置14和置换气源装置15； 所述反应室11包括：规则且中空的反应室主体111，在所述反应室主体111相对两端分别设置的第一孔板112和第二孔板113； 所述第一管路12一端与所述反应室主体111设置所述第一孔板112的位置相连接； 所述第一孔板112具有多个贯穿其本体的第一通孔112a，且所述第一通孔112a具有多种孔径，且由第一孔板112中心至边缘的方向第一通孔112a基于直径减小且数量增加的规律布置； 所述第二孔板113具有多个贯穿其本体的第二通孔113a，且所述第二通孔113a具有多种孔径，且由第二孔板113中心至边缘的方向第二通孔113a基于直径减小且数量增加的规律布置； 基于所述第一孔板112和第二孔板113不同位置处的孔径，使外周传输气体向中心聚拢，提升原子气室充气口处气体流量。

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