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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种旋转阴极磁场均匀保障装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121109978B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511668203.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种旋转阴极磁场均匀保障装置是由彭定强;张南;刘欣;戴科峰;谭永炘;伍三忠设计研发完成，并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋转阴极磁场均匀保障装置在说明书摘要公布了：本发明涉及真空镀膜设备领域，本发明公开了一种旋转阴极磁场均匀保障装置，包括：靶筒，靶筒包括内腔，内腔包括主冷水口；磁棒，磁棒沿轴向设置在内腔之内；冷水管，冷水管沿轴向设置在内腔内，冷水管包括进水口和出水口，出水口与主冷水口连通；第一喷管，第一喷管设置在靶筒内，第一喷管位于远离主冷水口的一侧，第一喷管与冷水管连通，第一喷管的周面开设有第一喷口，第一喷口的通流面积小于出水口的通流面积。本发明的有益效果：冷水从主冷水口进入内腔对磁棒以及靶筒进行冷却，同时冷水还通过第一喷管从第一喷口喷入远离主冷水口的一侧，能够有效减少靶筒沿轴线方向出现温度差。

本发明授权一种旋转阴极磁场均匀保障装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转阴极磁场均匀保障装置，其特征在于：包括： 靶筒1，所述靶筒1包括内腔10，所述内腔10包括主冷水口； 磁棒2，所述磁棒2沿轴向设置在所述内腔10之内； 冷水管3，所述冷水管3沿轴向设置在所述内腔10内，所述冷水管3包括进水口和出水口，所述出水口与所述主冷水口连通； 第一喷管4，所述第一喷管4设置在所述靶筒1内，所述第一喷管4位于远离所述主冷水口的一侧，所述第一喷管4与所述冷水管3连通，所述第一喷管4的周面开设有第一喷口41，所述第一喷口41的通流面积小于所述出水口的通流面积； 所述一种旋转阴极磁场均匀保障装置还包括第一端盖11和第二端盖12，所述第一端盖11和第二端盖12分别位于所述靶筒1的两端部，所述第一端盖11、第二端盖12和靶筒1共同形成所述内腔10，所述进水口位于邻近所述第一端盖11的一侧，所述主冷水口开设在第二端盖12上；所述冷水管3沿所述靶筒1的轴向贯通所述第一端盖11并穿过所述第二端盖12并通过主冷水口与所述内腔10连通； 所述第一喷管4位于远离所述第二端盖12的一侧，所述第一喷管4通过接头组件与所述冷水管3连通； 所述接头组件包括弯头51和接驳管52，所述弯头51的一端与所述冷水管3连通，所述弯头51的另一端与所述接驳管52连通，所述接驳管52的另一端与所述第一喷管4连通，所述第一喷口41与所述内腔10连通，所述第一喷口41偏向所述靶筒1的中心，所述第一喷口41的方向与所述接驳管52的延伸方向之间的夹角为b，所述b在5°至30°之间； 所述旋转阴极磁场均匀保障装置还包括第一扰流板61，所述第一扰流板61设置在所述内腔10之内，所述第一扰流板61包括第一扰流面611，所述第一扰流面611上开设有若干通孔； 所述旋转阴极磁场均匀保障装置还包括第二扰流件62，所述第二扰流件62设置在所述内腔10之内，所述第二扰流件62包括第二扰流面6231和第三扰流面6211，所述第二扰流面6231和第三扰流面6211互不平行，所述第二扰流面6231和第三扰流面6211上均设有若干通孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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