北京和崎精密科技有限公司夏正懿获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种用于Wafer的高效传动机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121096949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511648585.2,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种用于Wafer的高效传动机构是由夏正懿;王连富;阮铁宾;钟华;王振强;郑瑜谦设计研发完成,并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于Wafer的高效传动机构在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体设备技术领域,公布了一种用于Wafer的高效传动机构,包括CST载体单元,所述CST载体单元包括固定基板和安装在固定基板上的移动组件,且移动组件在固定基板上进行限位滑动,所述固定基板上固定安装有定位组件,且定位组件与移动组件之间进行滑动配合连接,所述移动组件上固定安装有动力组件,且动力组件上一侧连接有执行组件;所述固定基板位置固定,通过固定基板与定位组件的固定连接,以及移动组件与定位组件之间的滑动配合,使得动力组件在运行时能够驱动移动组件沿固定基板进行限位移动;解决了现有技术中行程不够和空间互斥的局限,装置内部结构复杂,设备的空间利用率较低的问题,同时提高WPH,工作效率更高。
本发明授权一种用于Wafer的高效传动机构在权利要求书中公布了:1.一种用于Wafer的高效传动机构,其特征在于:包括CST载体单元20,所述CST载体单元20包括固定基板21和安装在固定基板21上的移动组件22,且移动组件22在固定基板21上进行限位滑动,所述固定基板21上固定安装有定位组件23,且定位组件23与移动组件22之间进行滑动配合连接,所述移动组件22上固定安装有动力组件24,且动力组件24上一侧连接有执行组件25; 所述固定基板21位置固定,通过固定基板21与定位组件23的固定连接,以及移动组件22与定位组件23之间的滑动配合,使得动力组件24在运行时能够驱动移动组件22沿固定基板21进行限位移动;同时,移动组件22与动力组件24固定连接,动力组件24与执行组件25也固定连接,执行组件25可滑动地安装于移动组件22上,从而动力组件24的运行进一步带动执行组件25沿移动组件22产生相应位移; 所述定位组件23和执行组件25均固定连接在动力组件24上,且定位组件23和执行组件25分别位于动力组件24的两侧。
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