北京和崎精密科技有限公司王连富获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块及运送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121096948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511621368.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块及运送系统是由王连富;阮铁宾;夏正懿;阮建坤;杨晨;钟华;郑瑜谦设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块及运送系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块及运送系统。主要包括晶圆盒传送端口、角度避让结构和控制系统。本申请通过将晶圆盒运送模块设置于立式炉设备的外侧而非内部，能够在不改变设备整体宽度的前提下实现晶圆盒运送模块独立安装；通过在晶圆盒运送模块上设置具有避让角的角度避让结构，能够降低对机械手运动复杂性的依赖，从而减少机械手前臂旋转角度20～35%，缩短机械手取放周期10～30%；通过晶圆盒运送模块的外部独立布置，能够有效释放立式炉设备的内部空间，避免路径干涉，简化运动轨迹，提升取放效率、系统可维护性与布局灵活性。
本发明授权一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块及运送系统在权利要求书中公布了：1.一种立式炉用stocker的晶圆盒运送模块，设置于立式炉设备的侧面，沿立式炉设备侧向延伸布设，以构成独立的晶圆盒接收、暂存与转运区域，其特征在于，所述晶圆盒运送模块包括： 两个晶圆盒传送端口，沿晶圆盒运送模块的宽度延伸方向对称布设； 角度避让结构，设置于晶圆盒传送端口处，用于避让垂直摆动式机械手从晶圆盒运送模块后端运送至立式炉设备内部过程中的路径干涉； 控制系统，具备错误反馈机制，用于统一调度执行单元的动作时序，并基于设定的关键时间阈值和错误反馈机制，判断是否触发故障报警流程； 所述基于设定的关键时间阈值和错误反馈机制，判断是否触发故障报警流程，包括： 设定关键时间阈值，包括拖链滑轨单元单次往返标准时间和机械手单次取放周期； 判断拖链滑轨单元单次往返实测时间或机械手单次取放实测周期是否超出关键时间阈值，若是，则判定为异常，触发三级故障报警流程。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京和崎精密科技有限公司，其通讯地址为：100000 北京市通州区北京经济技术开发区(通州)科创东五街2号13幢1层、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励