成都国泰真空设备有限公司王伟获国家专利权
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龙图腾网获悉成都国泰真空设备有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121065650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511596158.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射镀膜机是由王伟;张勇军;刘维龙;魏佳;黄桂祥;卢成设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜设备技术领域，具体公开了一种磁控溅射镀膜机，包括镀膜室以及连通设置于镀膜室上的抽真空组件，镀膜室上设有可启闭的室门，镀膜室内设有工件安装组件，并在工件安装组件的下方设有电子枪，电子枪设于镀膜室内底部，电子枪的输出端设有坩埚，室门内壁上可转动设置有阴极转动机构，阴极转动机构上设有平面阴极，平面阴极内设置有靶材，平面阴极上盖设有屏蔽罩，屏蔽罩的两端分别铰接于平面阴极的两侧，阴极转动机构和屏蔽罩分别传动连接有第一伺服电机和第二伺服电机。本发明可实现大面积或多层膜沉积，提高了镀膜工艺的多样性，并有效降低了交叉污染的风险。
本发明授权一种磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括镀膜室1以及连通设置于镀膜室1上的抽真空组件，所述镀膜室1上设有可启闭的室门2，所述镀膜室1内设有工件安装组件，并在工件安装组件的下方设有电子枪3，所述电子枪3设于镀膜室1内底部，所述电子枪3的输出端设有坩埚4，所述室门2内壁上可转动设置有阴极转动机构5，所述阴极转动机构5上设有平面阴极6，所述平面阴极6内设置有靶材7，所述平面阴极6上盖设有屏蔽罩8，所述屏蔽罩8的两端分别铰接于平面阴极6的两侧，所述阴极转动机构5和屏蔽罩8分别传动连接有第一伺服电机9和第二伺服电机10；所述室门2上一体成型有收纳壳201，所述阴极转动机构5可转动设置于收纳壳201内。
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