陛通半导体设备(苏州)有限公司吴先亮获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉陛通半导体设备(苏州)有限公司申请的专利沉积件及沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121065637B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511613350.X，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权沉积件及沉积设备是由吴先亮;周云;睢智峰;宋维聪设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积件及沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种沉积件及沉积设备，所述沉积件包括：沉积环、中心节点以及多个支撑杆；所述中心节点设置于所述沉积环的中心位置；所述支撑杆的第一端与所述中心节点连接，所述支撑杆的第二端与所述沉积环连接，所述支撑杆具有绕自身轴线的扭转；多个所述支撑杆环绕所述中心节点呈放射状排布，以将所述沉积环和所述中心节点之间的区域分割为多个沉积区域。如此配置，通过将支撑杆配置为绕自身轴线扭转，改变支撑杆不同位置处相对于靶材方向的投影面积或投影角度，从而调节支撑杆在晶圆上的投影，改善薄膜电阻的图案趋势，同时调节不同位置的薄膜厚度，提升局部均匀性。
本发明授权沉积件及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积件，其特征在于，包括：沉积环、中心节点以及多个支撑杆； 所述中心节点设置于所述沉积环的中心位置；所述支撑杆的第一端与所述中心节点连接，所述支撑杆的第二端与所述沉积环连接，所述支撑杆具有绕自身轴线的扭转； 多个所述支撑杆环绕所述中心节点呈放射状排布，以将所述沉积环和所述中心节点之间的区域分割为多个沉积区域； 所述支撑杆上任意一位置的横截面具有经过自身形心的主惯性轴；其中，对应最小惯性矩的所述主惯性轴与所述沉积环的轴线之间的夹角，为所述支撑杆在该位置处的扭转角； 所述支撑杆自所述第一端至所述第二端，所述扭转角呈非线性变化。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人陛通半导体设备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215413 江苏省苏州市太仓市大连东路36号3#1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励