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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利一种半导体大数据溯源分析方法、系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121032344B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511581320.5，技术领域涉及：G06Q10/0639；该发明授权一种半导体大数据溯源分析方法、系统是由傅慧初;徐晓顺;龚庆鹏;郭宇翔;李杰设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体大数据溯源分析方法、系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体数据分析技术领域，具体涉及一种半导体大数据溯源分析方法、系统，方法包括：获取半导体产线数据，半导体产线数据至少包括：1多个半导体产品所经历的多个加工设备信息，2半导体产品经历至少一个加工设备时所采用的过程参数，和或半导体产品的类别信息，3测量值，为半导体产线数据调用数据分析方案，数据分析方案包括：故障预测算法；根据数据分析方案对半导体产线数据进行预处理，以生成预处理结果；将预处理结果和相应的半导体产线数据输入至预设的大数据平台，大数据平台对应输出分析结果。本发明所提供的大数据溯源分析方法能够提升数据分析效率，同时减小分析过程中对算力要求，以降低实施成本。

本发明授权一种半导体大数据溯源分析方法、系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体大数据溯源分析方法，其特征在于，包括步骤： S101，获取半导体产线数据，所述半导体产线数据至少包括：1多个半导体产品所经历的多个加工设备信息，2所述半导体产品经历至少一个所述加工设备时所采用的过程参数，和或所述半导体产品的类别信息，3测量值，且所述加工设备信息包括以下至少一项：站点信息、机台信息、腔室信息，所述过程参数包括以下至少一项：配方、传感器类型，所述类别信息包括以下至少一项：原料来源、半导体型号； S102，为所述半导体产线数据调用数据分析方案，所述数据分析方案包括：故障预测算法； S103，根据数据分析方案对所述半导体产线数据进行预处理，以生成预处理结果，所述预处理结果包括：预测得到的异常根因，和异常根因的异常权重；其中，S103包括步骤： S1031，获取提取规则，所述提取规则包括：设备类型和配置类型，且所述设备类型包括至少一项加工设备信息，所述配置类型包括至少一项过程参数信息和或至少一项所述类别信息； S1032，根据提取规则从所述半导体产线数据中识别出多个生产序列，且所述生产序列对应记录有所述测量值； S1033，采用故障预测算法根据至少一个生产序列与其他多个生产序列之间的差异预测出异常根因；所述生产序列至少记录有所述半导体产品所经历的至少两个加工设备的加工顺序，以及对应的测量值；对应地，S1033还包括： S10331，获取得到至少一个生产序列组，且同组的生产序列具有相同的设备类型和配置类型； S10332，采用故障预测算法计算一个生产序列与其他多个所述同组的生产序列之间的差异，以预测出异常根因； S104，将所述预处理结果和相应的所述半导体产线数据输入至预设的大数据平台，所述大数据平台对应输出分析结果。

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