中国工程物理研究院应用电子学研究所李光祥获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院应用电子学研究所申请的专利基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121007643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511543642.0,技术领域涉及:G01J9/02;该发明授权基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统及方法是由李光祥;彭琛;邓婷;周文超;刘斯靓;魏蔚设计研发完成,并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统及方法,包括:偏振聚焦分光单元,用于将入射光束按圆偏振态分离并聚焦至不同的空间聚焦位置;波前调制单元,设置于空间聚焦位置处,波前调制单元包括第一通光孔和第二通光孔,第一通光孔用于将分离后的一束入射光束转换为参考光束,第二通光孔用于通过分离后的另一束入射光束,记为测试光束;偏振移相探测单元,用于获取参考光束与测试光束的合成光束在不同偏振方向的干涉强度信息。解决了现有点衍射干涉测量技术无法同步移相且干涉条纹对比度低的技术问题,极大的提高了点衍射干涉测量技术条纹的对比度及解算精度,并使得解算速度更快。
本发明授权基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于偏振聚焦分光的点衍射移相干涉测量系统,其特征在于,包括: 偏振聚焦分光单元3,用于将入射光束1按圆偏振态分离并聚焦至不同的空间聚焦位置; 波前调制单元,设置于所述空间聚焦位置处,所述波前调制单元包括第一通光孔12和第二通光孔13,所述第一通光孔12用于将分离后的一束入射光束1转换为参考光束,所述第二通光孔13用于通过分离后的另一束入射光束1,记为测试光束; 偏振移相探测单元,用于获取所述参考光束与测试光束的合成光束在不同偏振方向的干涉强度信息; 所述系统还包括偏振调制单元,所述偏振调制单元用于将入射光束1调整为预定方向的线偏振光束; 所述偏振调制单元为起偏器2,设置在所述偏振聚焦分光单元3之前; 所述偏振聚焦分光单元3用于接收所述线偏振光束,并将所述偏振光束按圆偏振态分为第一圆偏振光束6和第二圆偏振光束7,所述第一圆偏振光束6聚焦在第一空间聚焦位置处,所述第二圆偏振光束7聚焦在第二空间聚焦位置处; 所述第一通光孔12设置在第一空间聚焦位置处,所述第二通光孔13设置在第二空间聚焦位置处; 所述第一通光孔12的孔径为微米级或者与波长同量级,用于透射并调制所述第一圆偏振光束6以形成球面参考光束; 所述第二通光孔13的孔径大于所述第二圆偏振光束7的焦斑尺寸,用于透射第二圆偏振光束7且保留所述第二圆偏振光束7原始波前的相位信息以形成测试光束; 所述系统还包括合束传输单元,所述合束传输单元设置在所述波前调制单元和所述偏振移相探测单元之间; 所述合束传输单元用于将所述参考光束和所述测试光束进行合束,得到合成光束。
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