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龙图腾网获悉讯创(天津)电子有限公司申请的专利一种多层离子溅射镀膜装置及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120967305B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511516509.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种多层离子溅射镀膜装置及工艺是由刘冬生;王萌;刘翰知;赵欣设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多层离子溅射镀膜装置及工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射镀膜技术领域，具体涉及一种多层离子溅射镀膜装置及工艺，多层离子溅射镀膜工艺包括采用多层离子溅射镀膜装置进行镀膜；多层离子溅射镀膜装置包括外壳、溅射靶头、安装壳、基座、回料机构和输料机构，溅射靶头插装在外壳内，且指向待镀膜件；安装壳上设置有输料通道和回料通道，输料通道与回料通道均能够和出入口连通；基座在使用时夹持有多个材质不同的靶材；回料机构配置成能够将位于靶座处的靶材通过回料通道输送回基座；输料机构配置成能够将位于基座处的靶材通过输料通道输送至靶座，从而既可实现对待镀膜件的多层镀膜，且不同靶材之间不会出现交叉污染，在保证镀膜效率的同时，利于提高镀膜质量。

本发明授权一种多层离子溅射镀膜装置及工艺在权利要求书中公布了：1.一种多层离子溅射镀膜装置，其特征在于，所述多层离子溅射镀膜装置包括： 外壳； 溅射靶头，插装在所述外壳内，且指向待镀膜件；所述溅射靶头包括连接臂、靶座和屏蔽罩，所述连接臂设置在所述外壳上；所述靶座设置在所述连接臂上，且用于放置靶材；所述屏蔽罩罩设在所述靶座和所述连接臂上，且在使用时压接在所述靶材上，所述屏蔽罩能够沿所述连接臂的延伸方向滑动，所述屏蔽罩的侧壁上设置有出入口； 安装壳，设置在所述连接臂上，且能够沿平行于所述连接臂的延伸方向的方向滑动，所述安装壳上设置有输料通道和回料通道，所述输料通道与所述回料通道均能够和所述出入口连通； 基座，插装在所述安装壳内，所述基座能够沿平行于所述连接臂的延伸方向的方向滑动，所述基座在使用时夹持有多个材质不同的所述靶材； 回料机构，所述回料机构配置成能够将位于所述靶座处的所述靶材通过所述回料通道输送回所述基座； 所述回料机构包括导轨和两个第一夹持件，所述导轨为U形结构，且插装在所述屏蔽罩内，所述导轨的开口朝向所述出入口，且和所述出入口连通，所述导轨配置成能够引导所述靶材和所述靶座对中；所述两个第一夹持件均插装在所述回料通道内，且分别对称位于所述回料通道的两侧，并均能够沿垂直于所述连接臂的延伸方向的方向滑动，所述第一夹持件为U形结构，所述第一夹持件的开口朝向所述出入口，所述第一夹持件具有L形的第一滑动部和V形的第一夹持部，所述第一夹持部具有弹性，且配置成能够夹持所述靶材； 输料机构，所述输料机构配置成能够将位于所述基座处的所述靶材通过所述输料通道输送至所述靶座； 所述输料机构包括转动杆、楔形块、复位件、两个第二夹持件和两个第一调节件，所述转动杆插装在所述安装壳内，且沿垂直于所述连接臂的延伸方向的方向延伸，所述转动杆能够绕第一轴线转动，所述第一轴线沿平行于所述连接臂的延伸方向的方向延伸；所述楔形块设置在所述转动杆远离所述第一轴线的一端，所述楔形块能够沿平行于所述连接臂的延伸方向的方向滑动，且能够和所述靶材形成止挡配合，并能够绕第二轴线转动，所述第二轴线平行于所述第一轴线；所述复位件配置成能够使所述楔形块复位；所述两个第二夹持件均插装在所述输料通道内，且分别对称位于所述输料通道的两侧，所述第二夹持件为U形结构，所述第二夹持件的开口背向所述出入口，所述第二夹持件具有L形的基部和V形的第二夹持部，所述第二夹持部具有弹性，且配置成能够夹持所述靶材；所述第一调节件配置成能够改变所述第二夹持件的开口大小； 所述输料机构包括两个第三夹持件和两个第二调节件，所述两个第三夹持件均插装在所述输料通道内，且分别对称位于所述输料通道的两侧，并均能够沿垂直于所述连接臂的延伸方向的方向滑动，所述第三夹持件为U形结构，所述第三夹持件的开口背向所述出入口，所述第三夹持件具有L形的第二滑动部和V形的第三夹持部，所述第三夹持部具有弹性，且配置成能够夹持所述靶材；所述第二调节件配置成能够改变所述第三夹持件的开口大小。

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