广东骏达精密科技有限公司颜杰钦获国家专利权
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龙图腾网获悉广东骏达精密科技有限公司申请的专利一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120888243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510944264.0，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法是由颜杰钦;郭东勇;李泽辉设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于碳化硅晶圆后处理技术领域，具体涉及一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法。所述碳化硅晶圆抛光用的抛光液，按质量百分比计，包括如下组分：磨料5‑30％、氧化剂3‑8％、缓释离子液体1‑5％、分散剂0.05‑1％、pH调节剂0.05‑1％、去离子水补充余量至100％；所述缓释离子液体为氨基聚苯乙烯微球接枝的酯基离子液体。本发明创造性地使用缓释离子液体避免了磨料对碳化硅晶圆的损伤的同时还降低了粗糙度、提高了抛光速率。
本发明授权一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液，其特征在于，按质量百分比计，包括如下组分：磨料5-30%、氧化剂3-8%、缓释离子液体1-5%、分散剂0.05-1%、pH调节剂0.05-1%、去离子水补充余量至100%；所述缓释离子液体为氨基聚苯乙烯微球接枝的酯基离子液体； 所述酯基离子液体选自1-乙酸甲酯基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐和1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐中的至少一种； 所述缓释离子液体的制备方法，包括以下步骤：将氨基聚苯乙烯微球、酯基离子液体和甲醇混合均匀，在78-82℃条件下搅拌1-3h，过滤，洗涤，干燥即得； 所述分散剂为聚丙烯酸丁酯-苯乙烯-丙烯酸嵌段聚合物和琥珀酯嵌段共聚物的混合物。
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