大连理工大学闫英获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种多功能集成的多级刮刀涂布装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120861350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510932317.7,技术领域涉及:B05C11/04;该发明授权一种多功能集成的多级刮刀涂布装置是由闫英;李禹泽;周平;何涛;方子铿;万佳奇设计研发完成,并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多功能集成的多级刮刀涂布装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多功能集成的多级刮刀涂布装置,包括多级刮刀头、加热震源、竖向连杆、横向连杆、补液装置和驱动块。本发明对基板进行刮刀涂布时,多级刮刀头可以使刮涂间隙逐级递减,从而使刮刀前端的弯月面高度逐级减小,与刮刀后端液膜形成更小更稳定的液面高度差,减小刮涂过程中因刮刀前后液面高度差变化导致的液膜厚度波动,获得更加均匀的理想厚度光刻胶薄膜。本发明的加热震源,可实现对基底刮刀头的温度控制以及刮刀振型状态的实时控制。通过对刀头的加热可以控制刮刀底部区域形成高温环境,降低高粘度溶液粘度,有利于溶液在刮刀下方均匀铺展。本发明通过控制加热震源内部振子的振型,可控制刮刀底部实现正弦波形等复杂运动轨迹。
本发明授权一种多功能集成的多级刮刀涂布装置在权利要求书中公布了:1.一种多功能集成的多级刮刀涂布装置,其特征在于:包括多级刮刀头1、加热震源3、竖向连杆4、横向连杆5、补液装置6和驱动块10; 所述多级刮刀头1的左右两端分别与左右两侧的竖向连杆4的下端固定连接,所述驱动块10的左右两端分别与左右两侧的竖向连杆4的上端连接;所述驱动块10通过传动机构与驱动装置连接、带动多级刮刀头1前后移动;所述加热震源3通过传热垫片2安装在多级刮刀头1上侧;所述补液装置6的左右两侧分别通过各自的横向连杆5与左右两侧的竖向连杆4固定连接,所述补液装置6位于多级刮刀头1的前方; 所述多级刮刀头1下端具有多个刀头,多个刀头沿前后方向并列,多个刀头下边缘从前往后依次降低,在刮涂时形成逐级减小的刮涂间隙; 通过控制加热震源3内部振子的振型,带动多级刮刀头1进行竖直方向的震动,结合多级刮刀头1在伺服电机17驱动下的前进运动,控制多级刮刀头1底部实现复杂运动轨迹,从而在刮涂具有周期性微结构的基板时,以匹配微结构变化的刀尖轨迹对微结构上方液膜进行去除。
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