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龙图腾网获悉苏州博宏源设备股份有限公司申请的专利一种硅片抛光头压力实时调整系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120696911B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511104467.5，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种硅片抛光头压力实时调整系统是由任明元;梁春;刘文平;强彦东设计研发完成，并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片抛光头压力实时调整系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片抛光头压力实时调整系统，涉及硅片抛光技术领域，包括壳体，安装在抛光设备的输出端，其上端面安装有旋转接头；分隔盘，固定在所述壳体内部，且将所述壳体内部上下分隔为储液仓和冷却仓，所述储液仓采用旋转接头与外部供液设备连通；固定盘，固定在所述冷却仓内；微型泵阀，被配置为多个，均固定在所述固定盘的上端面，且采用管道与所述储液仓连通；控制器，固定在所述固定盘上，且与多个微型泵阀电性连接；分区调节组件，固定在所述冷却仓的下端面；限位环，竖直滑动设置在所述壳体的下端面，且采用调节管与所述微型泵阀连通；硅片，安装在所述分区调节组件的下端面，且位于所述限位环内。

本发明授权一种硅片抛光头压力实时调整系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片抛光头压力实时调整系统，其特征在于，包括： 壳体1，安装在抛光设备的输出端，其上端面安装有旋转接头； 分隔盘2，固定在所述壳体1内部，且将所述壳体1内部上下分隔为储液仓3和冷却仓4，所述储液仓3采用旋转接头与外部供液设备连通； 固定盘5，固定在所述冷却仓4内； 微型泵阀6，被配置为多个，均固定在所述固定盘5的上端面，且采用管道与所述储液仓3连通； 控制器7，固定在所述固定盘5上，且与多个微型泵阀6电性连接； 分区调节组件8，固定在所述冷却仓4的下端面； 限位环9，竖直滑动设置在所述壳体1的下端面，且采用调节管91与一个所述微型泵阀6连通； 硅片10，安装在所述分区调节组件8的下端面，且位于所述限位环9内； 所述分区调节组件8包括： 基板81，固定在所述冷却仓4的下端面,且其远离所述冷却仓4的一侧开设有转换仓； 腔体82，被配置为多个，均固定在所述转换仓内，且所述腔体82采用软管与多个所述微型泵阀6连通； 密封膜83，固定在所述基板81远离所述冷却仓4的一侧，且所述密封膜83将多个所述腔体82密封隔离； 柔性膜84，固定在所述密封膜83远离所述基板81的一侧； 转换组件85，被配置为多个，均固定在所述转换仓内，且位于多个所述腔体82之间； 抽吸管86，固定在所述腔体82内，且一端与所述软管连通，另一端靠近所述密封膜83，且不与所述密封膜83接触。

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