哈工大苏州研究院;哈尔滨工业大学姚彦获国家专利权
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龙图腾网获悉哈工大苏州研究院;哈尔滨工业大学申请的专利一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120555960B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510664235.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用是由姚彦;毕梦雪;孙徕博;黄陆军;耿林;孙枫泊;鲁伟航;张昕设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用。本发明属于太阳能电池透明导电薄膜领域。本发明的目的在于提供一种高透光率，高导电性，宽带隙的共掺杂氧化锌薄膜。方法：先以Fe22O33粉末、B22O33粉末和ZnO粉末为原料，依次经冷等静压和热等静压，制成铁硼共掺杂氧化锌陶瓷靶材；然后以其为溅射靶材，通过磁控溅射在衬底表面进行沉积，沉积结束后进行退火处理，得到铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜。本发明利用硼铁协同作用调制氧化锌薄膜能带结构，减少光学反射以及提高透过率，提高其光学、电学性能进而提升光电转化效率，为突破太阳能电池光电转换效率阈值开辟新路径。可应用于硅基太阳电池领域。
本发明授权一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法： S1：以Fe2O3粉末、B2O3粉末和ZnO粉末为原料，依次经冷等静压和热等静压，制成铁硼共掺杂氧化锌Zn0.9FexB0.1-xO陶瓷靶材； S1中铁硼共掺杂氧化锌陶瓷靶材中Fe掺杂原子比为1.4~9%，B掺杂原子比为1~8.6%； S1中热等静压参数：温度为1150~1350℃，压力为80~180MPa，时间为3~5h； S2：以铁硼共掺杂氧化锌Zn0.9FexB0.1-xO陶瓷靶材为溅射靶材，通过磁控溅射在衬底表面进行沉积，沉积结束后进行退火处理，得到铁硼共掺杂氧化锌透明导电薄膜。
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