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苏州茂特斯科技股份有限公司姚鑫伟获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州茂特斯科技股份有限公司申请的专利一种晶圆maping与检测相机组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120527250B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510672582.6,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权一种晶圆maping与检测相机组件是由姚鑫伟;景自永设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆maping与检测相机组件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆maping与检测相机组件,包括组件支座,所述组件支座上安装有支撑架与支撑座,所述支撑架的外侧安装有晶圆照相机,所述支撑架的内侧安装有第一镜头,所述支撑座的内侧安装有第二镜头,所述第二镜头与第一镜头连接,所述组件支座后端安装有上镜室,所述上镜室与第二镜头之间连接有变焦调节器。本发明所述的一种晶圆maping与检测相机组件,相机光路通过棱镜折射到晶圆maping上,节省出拍照处相机的安装位置,适应更多的工作场合,光源照亮晶圆maping的位置,且晶圆maping通过吸取组件进行微调移动,首先对晶圆maping的边缘成像提取合成轮廓,多次拍照,并将图片合成检测。

本发明授权一种晶圆maping与检测相机组件在权利要求书中公布了:1.一种晶圆maping与检测相机组件,包括组件支座1,其特征在于:所述组件支座1上安装有支撑架18与支撑座3,所述支撑架18的外侧安装有晶圆照相机19,所述支撑架18的内侧安装有第一镜头17,所述支撑座3的内侧安装有第二镜头9,所述第二镜头9与第一镜头17连接,所述组件支座1后端安装有上镜室7,所述上镜室7与第二镜头9之间连接有变焦调节器4,所述上镜室7的底部定位有下镜室14,所述下镜室14的外侧安装有镜片框21,所述下镜室14外侧定位有镜架6,所述镜架6的上端定位有上安装板11,所述镜架6的外侧定位有棱镜5,所述镜架6的底部安装有下安装板20,所述下安装板20的底部定位有光源圈13; 所述组件支座1的底部定位安装有安装支座8,所述组件支座1的外侧定位安装有保护盖2,所述组件支座1与保护盖2之间定位有定位销10,所述镜架6的外侧定位有锁架12,所述安装支座8上开设有销孔15,所述镜片框21与安装支座8之间的定位有镜片连接板16; 所述晶圆照相机19、第一镜头17、第二镜头9通过支撑架18和支撑座3平行固定在组件支座1的上端,所述上镜室7通过螺栓固定在组件支座1上,所述第二镜头9与上镜室7之间通过变焦调节器4贯穿; 所述上镜室7与下镜室14之间贯穿,所述下镜室14与镜架6之间通过螺栓进行固定,所述下镜室14前端的镜片框21与镜架6侧边的棱镜5平行,且镜片框21正对棱镜5的内侧镜面位置; 所述组件支座1与保护盖2之间通过定位销10进行固定,且保护盖2覆盖晶圆照相机19、第一镜头17、第二镜头9与支撑座3的位置进行防护; 所述组件支座1的底部通过安装支座8进行安装,所述镜片连接板16固定在安装支座8上并通过销孔15对镜片框21进行定位; 所述晶圆照相机19的光路依次通过第一镜头17、第二镜头9、上镜室7、下镜室14、镜片框21,并通过棱镜5折射到晶圆maping上; 所述光源圈13照亮晶圆maping的位置,且晶圆maping通过吸取组件进行微调移动,对晶圆maping的边缘成像提取合成轮廓。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州茂特斯科技股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇姑苏路200号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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