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合肥工业大学闫佩正获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120488939B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510699174.X,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统及方法是由闫佩正;刘向玮;丁墨函;任涛章;王永红设计研发完成,并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统及方法,涉及散斑干涉技术领域,包括:激光器、分光棱镜一和成像元件;所述激光器出射的激光束被分光棱镜一分为透射光和反射光;部分透射光被分光棱镜三反射后,作为参考光照射在成像元件上;部分反射光依次穿过线性偏振片和半波片后,被空间光调制器组件调制,照射在分光棱镜四上,并反射至被测物表面发生漫反射,获得慢射光;散斑干涉系统利用空间光调制器组件对物光进行调制,使空间光调制器组件调制的出射光以多种照明角度照射被测物,在成像元件靶面形成相互独立的散斑场,并通过多次测量叠加后能有效抑制散斑退相关噪声,进而提升后续测量结果的准确性。

本发明授权基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于空间光调制器的低噪声散斑干涉系统,其特征在于,所述散斑干涉系统包括:激光器、分光棱镜一和成像元件; 所述激光器出射的激光束被分光棱镜一分为透射光和反射光; 部分透射光被分光棱镜三反射后,作为参考光照射在成像元件上; 部分反射光依次穿过线性偏振片和半波片后,被空间光调制器组件调制,照射在分光棱镜四上,并反射至被测物表面发生漫反射,获得漫射光;部分漫射光依次穿过分光棱镜四、傅里叶透镜四、孔径光阑二、傅里叶透镜三及分光棱镜三后,作为物光照射在成像元件上; 其中,傅里叶透镜三和傅里叶透镜四构成4f系统,且被测物表面处于傅里叶透镜四的前焦面上,成像元件成像面处于傅里叶透镜三的后焦面上,孔径光阑二处于傅里叶透镜三和傅里叶透镜四构成4f系统中的频谱面上; 所述参考光与物光在成像元件靶面上干涉,成像元件靶面上得到散斑干涉图的光强表达式为: ;1 2 其中,为坐标系坐标,是物光的光强,是参考光光强,为物光振幅,为参考光振幅,为物光相位; 为因空间光调制器调制产生的光束偏转引入的相位; 其中和为空间光调制器的像元尺寸,x和y为光束偏转角度; 令参考光为平面光,参考光在整个测量过程中保持不变其自身的相位忽略不计; 变形前的物光复振幅可以通过下式计算: ;3 为光波的复振幅表达式,其中A为振幅,这里和下文均省略坐标系x,y; 式中为虚数符号,为携带物体相位信息的指数项; 在变形后得到变形后的物光复振幅,对两个复振幅进行共轭相乘,得到相幅矢量: ;4 式中为相幅矢量的幅值,对应物体面外变形量,为变形引入的散斑退相关噪声; 由于空间光调制器的高精度可重复性,在物体变形前后通过调制相同方向的条纹可以获取完全相同的,从而在相减后消去该相位,可得最终相幅矢量计算公式为: ;5 当有N幅不相干的相幅矢量叠加,得到相幅矢量和的表达式如下: ;6 式中为N幅不相干的相幅矢量的散斑退相关噪声; 式中等号右侧的代表的相幅矢量和,其相位为叠加后的散斑退相关噪声; 在分析散斑退相关噪声的统计分布时,首先通过变量转化拟合欧拉定理的逆变换,将相幅矢量分解成三角函数表示的实部和虚部,对该相幅矢量和分解成实部和虚部得到: ;7 求解和的平均值,得到: ;8 其中和可以用随机变量的特征函数表示,从而得到实部和虚部的平均值: ;9 实部和虚部的方差可以通过相似的方法得到: 10 式中为表示和的协方差: ;11 由于散斑退相关噪声服从零均值高斯分布,则令实部和虚部的均值、标准差和协方差简化为: 根据中心极限定理,可以得到的联合密度函数: ;13 将公式5代入公式13并对振幅求积分,从而得到累加后噪声相位的概率密度函数: 14 其中系数主要取决于散斑退相关噪声的特征函数 根据中心极限定理,多个独立同分布的变量叠加,其分布趋近于正态分布,从而根据式14所示的概率密度函数得到叠加后散斑退相关噪声的标准差,再结合式12中的结果,最终得到叠加后散斑退相关噪声标准差为: ;15 可得,散斑退相关噪声的标准差在理论上呈现的规律。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学,其通讯地址为:230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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