连云港太平洋半导体材料有限公司陈富伦获国家专利权
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龙图腾网获悉连云港太平洋半导体材料有限公司申请的专利在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120464959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510611437.7，技术领域涉及：C23C4/134；该发明授权在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法是由陈富伦;刘明伟;倪玲;薛英豪设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法，该方法包括以下步骤：利用掺杂有超纯碳化硅粉末的超纯二氧化硅粉末作为等离子喷涂粉末，氧气作为送粉气，对石英基材的待喷涂区域表面进行等离子喷涂，获得超纯二氧化硅涂层；该石英基材为未预热的石英基材。采用本发明的方法制得的涂层具有更低的涂层孔隙率、更高的涂层结合强度以及更低的表面粗糙度，不影响石英产品尺寸精度、密封性以及光学性能。本发明的方法还因省去喷涂前的预热操作而能避免石英产品因预热不均等因素诱发应力而破裂的问题。
本发明授权在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法在权利要求书中公布了：1.一种在石英基材表面形成超纯二氧化硅涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤： 利用掺杂有超纯碳化硅粉末的超纯二氧化硅粉末作为等离子喷涂粉末，氧气作为送粉气，对石英基材的待喷涂区域表面进行等离子喷涂，获得超纯二氧化硅涂层； 所述石英基材为未预热的石英基材。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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