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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利用于量子比特芯片的原位测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119936624B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510117025.8，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权用于量子比特芯片的原位测试装置及方法是由李浩;魏伟;张俊楠;张珽设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于量子比特芯片的原位测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于量子比特芯片的原位测试装置及方法，装置包括激光辐照单元、测试台、探针结构和电学特性检测器件；测试台的内部设置真空腔体，测试台的侧壁开设与真空腔体连通的视窗和至少两个探针接口，真空腔体内设有样品台，样品台承载量子比特芯片；激光辐照单元用于产生激光；探针结构包括至少两组探针臂和探针，探针臂贯穿探针接口，探针臂的第一端位于真空腔体内，第二端位于真空腔体外，探针固定安装于探针臂的第一端且与探针臂电连接，探针臂的第二端与电学特性检测器件电连接。本发明能够解决量子比特芯片的氧化层影响电学特性测试准确性的问题，并有效提高量子比特芯片电学特性测试的效率。

本发明授权用于量子比特芯片的原位测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于量子比特芯片的原位测试装置，其特征在于，所述原位测试装置包括激光辐照单元、测试台、探针结构和电学特性检测器件； 所述测试台的内部设置真空腔体，所述测试台的侧壁开设与真空腔体连通的视窗和至少两个探针接口，所述真空腔体内设有用于承载量子比特芯片的样品台； 所述激光辐照单元用于产生激光，激光自所述视窗进入真空腔体并对量子比特芯片进行辐照； 所述探针结构包括至少两组探针臂和探针，所述探针臂贯穿探针接口，所述探针臂的第一端位于真空腔体内，第二端位于真空腔体外，所述探针固定安装于所述探针臂的第一端且与探针臂电连接，所述探针臂的第二端与电学特性检测器件电连接，所述探针臂还包括连接杆、波纹管、第一连接件和真空电馈通件，所述探针固定安装于连接杆的第一端且与连接杆电连接，所述真空电馈通件固定安装于连接杆的第二端且与连接杆电连接，所述连接杆的部分位于真空腔体内，部分嵌套于波纹管内，所述波纹管的第一端与第一连接件固定连接，第二端与真空电馈通件密封连接，且所述真空电馈通件与电学特性检测器件电连接。

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